-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116499368A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310376793.6
申请日：2023-04-10
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了激光干涉信号处理系统，激光干涉信号处理系统包括信号转换卡、传输线及相位卡；信号转换卡用于接收干涉仪输出的激光干涉信号，信号转换卡还用于将激光干涉信号转换为电信号；传输线具有第一端和第二端，第一端连接信号转换卡，第二端连接相位卡；传输线用于将电信号传输至相位卡；相位卡用于将电信号包含的相位变化量解算为位移变化量。本发明有效地避免了由于光纤扰动相位误差导致位移测量结果存在误差的问题，明显提高了位移测量结果的测量精度和准确性。
-
公开(公告)号：CN114993190B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210502276.4
申请日：2022-05-10
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开一种光刻机光栅六自由度位移测量系统，用于测量光栅安装板相对于光刻机投影物镜和对准传感器的空间位姿，包括两个位移测量分系统，每个测量分系统包含三个探测器并且每个探测器具备二自由度的测量功能。通过设置预处理位光栅安装板、曝光位光栅安装板的布置孔，可以便利的设置两组探测器，能够准确快捷的获得六自由度位移，可以解决因光刻机振动、环境影响等因素引起光栅安装板相对投影物镜和对准传感器的空间位姿变化的难题。
-
公开(公告)号：CN114993190A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210502276.4
申请日：2022-05-10
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开一种光刻机光栅六自由度位移测量系统，用于测量光栅安装板相对于光刻机投影物镜和对准传感器的空间位姿，包括两个位移测量分系统，每个测量分系统包含三个探测器并且每个探测器具备二自由度的测量功能。通过设置预处理位光栅安装板、曝光位光栅安装板的布置孔，可以便利的设置两组探测器，能够准确快捷的获得六自由度位移，可以解决因光刻机振动、环境影响等因素引起光栅安装板相对投影物镜和对准传感器的空间位姿变化的难题。
-
公开(公告)号：CN117367746A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311126242.0
申请日：2023-09-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种光刻机光栅测量标定系统，涉及光栅测量技术领域，包括机架、运动方向相互独立的运动系统、平面光栅组件、光栅读数头组件、激光干涉仪组件、跟随运动系统、真空波纹管组件和反射镜组件，所述真空波纹管安装在跟随运动系统上，并且位于对应的激光干涉仪和反射镜之间，所述跟随系统固定在机架上，并跟随运动系统运动；光栅读数头组件和平面光栅组件分别固定在运动系统的X向和Y向上。光栅读数头与平面光栅相互配合并实时反馈被标定件X向、Y向直线位移量以及分别绕X轴、Y轴、Z轴的旋转角度，对比光栅读数头和激光干涉仪所测被标定件(反射镜组件和平面光栅组件)的直线位移和旋转角度即可完成标定。
-
公开(公告)号：CN116734736A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310375664.5
申请日：2023-04-10
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了多模式激光干涉信号处理系统，该多模式激光干涉信号处理系统包括激光信号收发器、单模光纤及相位卡；激光信号收发器用于接收干涉仪输出的多模式激光干涉信号；激光信号收发器还用于将多模式激光干涉信号转换为单模式激光通信信号；单模光纤具有第一端和第二端；第一端连接激光信号收发器，第二端连接相位卡；单模光纤用于将单模式激光通信信号传输至相位卡；相位卡用于将单模式激光通信信号包含的相位变化量解算为位移变化量。本发明有效地避免了由于光纤扰动相位误差导致位移测量结果存在误差的问题，明显提高了位移测量结果的准确性。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.012 seconds)
