一种光电探测器及其制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119836048A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411890312.4

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本申请公开了一种光电探测器及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,本申请的光电探测器,包括衬底以及依次设置于衬底上的外延层和电极层,电极层具有接收区域,外延层位于接收区域内的部分上凸形成凸部,以使接收区域的上表面为向外凸出的凸面,接收区域用于接收光束,光束穿透电极层激发外延层形成电信号。本申请提供的光电探测器及其制备方法,能够减小光电探测器接收面占用的平面面积,提高单位面积的产能。

    一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115411616B

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202211052440.2

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括衬底、以及依次层叠设置于衬底上的N型布拉格反射镜层、量子阱层和P型布拉格反射镜层,P型布拉格反射镜层包括依次层叠设置的具有电流限制孔的复合式氧化层和子布拉格反射镜层,复合式氧化层包括至少一个混合式氧化层,混合式氧化层包括至少一组交替设置的第一AlGaAs层和第二AlGaAs层,子布拉格反射镜层包括至少一组交替设置的第三AlGaAs层和第四AlGaAs层,第一AlGaAs层中Al的含量和第三AlGaAs层中Al的含量相等,第一AlGaAs层中Al的含量、第四AlGaAs层中Al的含量和第二AlGaAs层中Al的含量依次增大。该垂直腔面发射激光器及其制备方法能够解决现有技术中共振腔的长度随氧化层层数的增多而增大的问题。

    一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115173225B

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202210839452.3

    申请日:2022-07-18

    Abstract: 一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及光电技术领域,该方法包括:在衬底上依次形成N型欧姆接触层、N型DBR层、MQW层和P型DBR层,并进行台面刻蚀至露出N型欧姆接触层,P型DBR层包括多个交替设置的具有不同折射率的AlGaAs层;对P型DBR层进行侧向氧化以使P型DBR层的多个AlGaAs层分别形成多个氧化层,多个氧化层沿层叠方向依次间隔设置,每个氧化层均包括未氧化区以及沿未氧化区外缘围设的氧化物限制区;在N型欧姆接触层和P型DBR层上分别沉积形成N电极和P电极,远离P电极的氧化层的未氧化区的孔径小于P电极所形成的光窗的孔径,其他任一氧化层的未氧化区的孔径大于或等于P电极所形成光窗的孔径。该方法能够缩短电流由P电极流至MQW层的电流路径。

    一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119542920A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411714197.5

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本申请提供一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及半导体激光器技术领域。该垂直腔面发射激光器包括:衬底和设置在衬底上的第一子N型DBR层,第一子N型DBR层背离衬底的表面划分有多个区域,每个区域上均层叠设置第二子N型DBR层、有源层和P型DBR层,第二子N型DBR层的表面的外轮廓位于第二子N型DBR层所在的区域的外轮廓之内,有源层的表面的外轮廓和P型DBR层的表面的外轮廓分别不超出第二子N型DBR层表面的外轮廓。该垂直腔面发射激光器相当于在一片衬底上同时形成了多个子垂直腔面发射激光器,每个子垂直腔面发射激光器均能够释放出一种波段的激光,因此,该垂直腔面发射激光器能够释放出多种波段的激光,且成本较低。

    一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119627620A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411728750.0

    申请日:2024-11-28

    Abstract: 本申请提供一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及半导体激光器技术领域。该垂直腔面发射激光器包括:衬底、沿预设方向依次层叠设置在衬底上的N型DBR层、有源层、P型DBR层和出光层,P型DBR层包括多对沿预设方向层叠设置的第一介质层和第二介质层,部分第一介质层和第二介质层之间设有氧化层,氧化层上设有氧化通孔,氧化通孔被第一介质层或第二介质层填充,氧化层的数量为多层,多层氧化层上的氧化通孔位置对应。该垂直腔面发射激光器具有良好的出光质量,可以大幅降低其所在器件的误码率,提升器件的性能。

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