一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117913651A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311664690.6

    申请日:2023-12-04

    IPC分类号: H01S5/125 H01S5/20 H01S5/183

    摘要: 本发明公开一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及激光器技术领域,该垂直腔面发射激光器包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的N型DBR层、MQW层、氧化层和P型DBR层,P型DBR层上划分有出光区域和电极区域,在出光区域上依次层叠设置有P型欧姆接触层和透明导电层、在电极区域上设置有透明导电层。该垂直腔面发射激光器及其制备方法能够改善现有技术中大孔径的VCSEL存在的电流分布不均匀的问题,还能够实现稳定的单模输出,从而使得出射的光束能够形成理想的高斯光束。

    一种垂直腔面发射激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117791304A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311656366.X

    申请日:2023-12-04

    IPC分类号: H01S5/125 H01S5/20 H01S5/183

    摘要: 本发明公开一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,涉及激光器技术领域,该垂直腔面发射激光器包括衬底、以及依次层叠设置于衬底上的N型分布式布拉格反射镜层、有源层、具有电流限制孔的氧化层、P型分布式布拉格反射镜层和透明导电层。该垂直腔面发射激光器及其制备方法能够改善现有技术中大孔径的VCSEL存在的电流分布不均匀的问题,还能够实现稳定的单模输出,从而使得出射的光束能够形成理想的高斯光束。

    一种垂直腔面发射激光器

    公开(公告)号:CN221651959U

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202323302818.2

    申请日:2023-12-04

    IPC分类号: H01S5/125 H01S5/20 H01S5/183

    摘要: 本实用新型公开一种垂直腔面发射激光器,涉及激光器技术领域,该垂直腔面发射激光器包括衬底、以及依次层叠设置于衬底上的N型分布式布拉格反射镜层、有源层、具有电流限制孔的氧化层、P型分布式布拉格反射镜层和透明导电层。该垂直腔面发射激光器能够改善现有技术中大孔径的VCSEL存在的电流分布不均匀的问题,还能够实现稳定的单模输出,从而使得出射的光束能够形成理想的高斯光束。

    一种垂直腔面发射激光器

    公开(公告)号:CN221487075U

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202323298249.9

    申请日:2023-12-04

    IPC分类号: H01S5/125 H01S5/20 H01S5/183

    摘要: 本实用新型公开一种垂直腔面发射激光器,涉及激光器技术领域,该垂直腔面发射激光器包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的N型DBR层、MQW层、氧化层和P型DBR层,P型DBR层上划分有出光区域和电极区域,在出光区域上依次层叠设置有P型欧姆接触层和透明导电层、在电极区域上设置有透明导电层。该垂直腔面发射激光器能够改善现有技术中大孔径的VCSEL存在的电流分布不均匀的问题,还能够实现稳定的单模输出,从而使得出射的光束能够形成理想的高斯光束。