-
公开(公告)号：CN117589299A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310379218.1
申请日：2023-03-31
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种校准方法、装置、系统及可读介质，校准方法包括：通过探测元件获取第二检测光波照射下形成的第二测量光谱信息；基于第二测量光谱信息以及参考信息确定校准参数，校准参数用于对探测元件的测量光谱信息进行校准；其中，参考信息为第二检测光波的入射光谱信息；或，校准方法还包括第一测量光谱获取步骤；第一测量光谱获取步骤包括：通过探测元件在第一检测光波下对第一基准样品进行检测获取第一测量光谱信息，参考信息包括第一测量光谱信息和第一基准样品的第一出光率信息，第一出光率信息为第一检测光波经过第一基准样品到达探测元件的出光效率。本发明实施例公开的校准方法能获得校准参数对进行校准，校准精度更高。
-
公开(公告)号：CN116793230A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202210254782.6
申请日：2022-03-15
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种检测方法及检测系统，其中检测方法包括：通过第一检测光获取第一信号光，第一检测光包括第一波长范围及第二波长范围；通过第二检测光获取第二信号光，第二检测光包括第二波长范围且不包含第一波长范围；对第一补偿处理之后的第一检出信息与第二检出信息进行第一差值处理，获取第一波长范围内各波长的第一信号光的光学特征与第二信号光的光学特征的第一差值与波长的对应关系，得到第一波长范围的第一差值检出信息；根据第一差值检出信息获取组合检出信息；根据组合检出信息获取待测物的待测信息。本发明能够消除第二波长范围的检测光对第一波长范围检测光的串扰，进而得到不具有串扰时第二波长范围的检出信息，进而能提高检测精度。
-
公开(公告)号：CN115541618A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202110744437.6
申请日：2021-06-30
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC: G01N21/956 , G01N21/01
Abstract: 本发明实施例提供了一种检测设备和检测方法，检测设备包括检测模块；检测模块包括光源组件和探测组件；光源组件用于向检测面出射检测光，检测光在检测面形成光斑；探测组件用于探测检测面的光斑，并对光斑的尺寸进行检测，以及，探测检测光经检测面处待测物形成的信号光，并根据信号光获得待测物的检测信息，以实现光斑尺寸的精确测量。
-
公开(公告)号：CN119510292A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202310998649.6
申请日：2023-08-09
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及光路系统的防护，提供了一种光路系统及光学量测设备。光路系统，包括：光源模块和/或光探测模块；光束处理装置，所述光束处理装置用于对通过的光束进行处理；安装基体，所述安装基体具有安装腔，至少一个所述光束处理装置设置在所述安装腔内，所述光源模块和/或光探测模块设置在所述安装基体外部；所述安装基体具有光入射口和光出射口，所述光入射口供待处理光束进入所述安装腔，所述光出射口供经所述光束处理装置处理的光束从所述安装腔中射出；以及供气装置，供气装置包括供气接头；供气接头连接在所述安装基体上，用于向所述安装腔内供应保护气体。本发明主要解决宽光谱光源的光路容易产生臭氧而导致氧化破坏的技术问题。
-
公开(公告)号：CN119355948A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202310844984.0
申请日：2023-07-11
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 一种用于光学检测系统的光路切换装置，包括：第一离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，第二离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，且与第一离轴反射镜所覆盖的光源的出光光路不重叠。本申请通过两个出光光路不重叠的两个离轴反射镜，可以将同一光源反射出两条不同用途的光束，提高光源的利用率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115576115A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202110753928.7
申请日：2021-07-03
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本申请实施例公开了一种光学设备的装调方法以及装调系统，该装调方法包括：提供第一测试光源，将第一测试光源安装于探测器位置；将第一光学元件安装于第一光学元件位置；通过第一测试光源向第一光学元件发射第一测试光信号，基于第一测试光信号的传输光路以及光路中心轴线对探测器和/或第一光学元件进行装调，根据光路可逆的原理，利用所述装调方法装调后的光学设备进行检测时，所述光学设备中的检测光信号会通过所述第一光学元件被所述探测器探测，使得所述探测器和所述第一光学元件具有较高的装调精度，从而使得所述装调方法能够有效提高所述光学设备的装调精度。
-
公开(公告)号：CN112539697A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010673791.X
申请日：2020-07-14
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备，发光装置包括光源模块和光阑组件，光源模块向待测样品出射测量光，至少部分测量光透过光阑组件上的透光孔后照射到待测样品表面形成光斑，由于光阑组件被配置为连续调节所述光斑的尺寸，因此，可以采用尺寸较小的光斑对待测样品表面的微结构进行测量，提高微结构测量的精度，采用尺寸较大的光斑对待测样品表面的大尺寸结构进行测量，提高测量的速度，进而能够对待测样品表面多种尺寸的结构进行高速高精度的全自动测量，指导待测样品表面膜层的生长，有效地提高待测样品表面膜层的良率。
-
公开(公告)号：CN119665184A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202311289121.8
申请日：2023-09-27
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及可调节光源组件。一种可调节光源组件，包括：光源模块，用于产生照明光；光源连接座，光源模块固定在光源连接座上；第一导向座，光源连接座沿第一设定方向活动装配在第一导向座上，第一导向座与光源连接座之间设有用于调节光源连接座的位置的调节机构；第一导向座包括导向部分和用于支撑导向部分的支撑部分，光源连接座活动装配在导向部分上，导向部分上沿第一设定方向的两侧固定有支撑部分；支撑部分和导向部分围成用于容纳光源模块的至少一部分的装载空间；以及第二导向座，第一导向座沿第二设定方向活动装配在第二导向座上，第二设定方向垂直于第一设定方向。本发明主要解决光源的位置调节结构需要占用较大的空间的技术问题。
-
公开(公告)号：CN115854891A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202111129733.1
申请日：2021-09-26
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本申请实施例提供了一种检测方法、检测系统及计算机可读存储介质，用于提升获取待侧点测量位置的便捷性。本申请实施例中的检测方法包括：获取样品和第一检测模块，样品包括多个参考点，通过第一检测模块对样品的每个参考点分别进行检测处理，获取初始位置关系，初始位置关系为所述测量位置和参考点的各检测信息之间的关系，根据初始位置关系获取位置关系，位置关系表示样品待测点的测量位置与检测信息之间的关系；通过第一检测模块对处于待测位置样品的待测点进行检测，以获取待测点的检测信息，待测位置为第一检测模块和样品之间沿测量方向的相对位置；根据检测信息、位置关系和基准位置，获取待测点相对基准位置沿测量方向的高度差。
-
公开(公告)号：CN115561255A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202110755148.6
申请日：2021-07-02
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种检测设备，包括：定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，产生第一定位光束和第二定位光束，第一定位光束和第二定位光束的波长不同；成像组件，根据所述第一定位信号光形成第一定位图像，并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像；处理模块，根据所述第一定位图像获取第一位置信息，根据所述第二定位图像获取第二位置信息；检测模块，根据第一位置信息对第一待测目标进行检测，并根据第二位置信息对第二待测目标进行检测。定位模块能够对待测目标进行成像，获取待测目标的位置信息，根据位置信息进行检测，能够提高检测精度，第一定位光束和第二定位光束的波长不同能对不同待测目标进行精确定位。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.03 seconds)
