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公开(公告)号：CN118896956A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202310472035.4
申请日：2023-04-26
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质，检测方法包括：对待测件的第一表面进行照明；获取第一表面的第一图像、第二表面的第二图像以及侧面的第三信号；第一表面与第二表面为相对的两个表面；第三信号为待测件的侧面反射的散射光产生的光信号；根据第一图像、第二图像以及第三信号，检测待测件的边缘的待测特征。本申请不仅可以检测待测件的侧面的大尺寸缺陷，还可以进一步检测侧面是否存在小尺寸缺陷，降低后续制造环节的风险。
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公开(公告)号：CN118822924A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202310387451.4
申请日：2023-03-31
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种图像处理方法及系统、设备和存储介质，图像对处理方法，其中，图像处理方法，包括：获取待测物的待测图像和模板图像，所述待测物包括多个周期性排列的待测单元；根据待测图像与模板图像的初始相对位置获取采样位置，并对处于采样位置处的待测图像和模板图像进行匹配处理，获取匹配误差；通过所述匹配误差对待测图像进行修正。本申请技术方案通过对采样位置进行匹配处理，获取匹配误差；通过匹配误差对待测图像进行修正，能够校正待测图像的畸变，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN118819073A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202310384603.5
申请日：2023-04-07
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本申请公开了一种操作方法、控制器、执行器及电子设备。在上述的方法中，在控制器获取操作任务之后，将操作任务发送至执行器，以便执行器执行预设操作，再接收执行器发送的报告消息，判断报告消息中的运行参数是否符合预设要求，并反馈判断结果。在此过程中，控制器通过自动判断执行器执行操作任务时或完成操作任务之后输出的运行参数是否符合预设要求，并反馈判断结果，来检测执行器与控制器的运行稳定性和可靠性，由于整个过程是自动完成的，实现操作流程的自动化，从而提高整个操作流程的效率。
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公开(公告)号：CN118566121A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202310233632.1
申请日：2023-02-28
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质，方法包括：获取面阵探测器的探测参数，探测参数包括曝光时间；控制面阵探测器对待测区域进行图像采集，其中，在面阵探测器对待测区域进行一次图像采集的过程中，控制探测光源提供一次照明，探测光源的一次照明时间小于曝光时间。本申请通过控制探测光源的照明时间，探测光源的一次照明时间小于面阵探测器的曝光时间，在保证面阵探测器拍摄一张图像时间中，通过只有较短的照明时间，避免出现长时间曝光导致的拖影问题。
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公开(公告)号：CN110874606B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN201811010582.6
申请日：2018-08-31
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种匹配方法和在匹配方法的基础上进行的三维形貌检测方法。本发明还涉及实现匹配方法和三维形貌检测方法的三维形貌检测系统和非暂时性计算机可读介质。匹配方法包括以下步骤：提供参照物体，参照物体具有特征点，参照物体包括第一待测区和第二待测区；通过在第一测量位置对第一待测区进行第一测量处理，获取至少一个特征点的第一空间位置信息；通过在第二测量位置对第二待测区进行第二测量处理，获取至少一个特征点的第二空间位置信息；通过第一空间位置信息和第二空间位置信息获取第一测量位置和第二测量位置之间的刚性坐标转换关系。其中，参照物体沿不经过特征点的任何直线具有非旋转对称性。
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公开(公告)号：CN118298203A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202310008569.1
申请日：2023-01-04
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC分类号： G06V10/762 , G06T7/00
摘要： 本发明提供的缺陷聚类方法、系统和设备，针对检测图像进行缺陷识别，确定出原始缺陷块及原始缺陷块的第一位置信息；对检测图像中的各个原始缺陷块的第一位置信息按预设条件进行映射处理，得到各个原始缺陷块映射后的第二位置信息；根据各个原始缺陷块的第二位置信息，确定出需聚类的目标缺陷块，进而对目标缺陷块进行聚类。本发明通过将各个原始缺陷块的第一位置信息进行映射，使各个原始缺陷块的第二位置信息之间更加紧凑，从而能更为精准的确定出需要聚类的目标缺陷块，减少了聚类的数据量，从而提高了缺陷检测的效率。
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公开(公告)号：CN112964725B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202110145891.X
申请日：2021-02-02
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 一种检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。检测方法应用于检测设备，所述检测设备包括承载台，所述承载台用于承载待测件，所述承载台设置有传感器，所述传感器围成承载空间，所述承载空间与所述待测件的形状和尺寸匹配，所述检测方法包括：获取所述传感器的检测信息；依据所述检测信息获取所述传感器未被所述待测件遮挡的第一部分的信息；及根据所述第一部分的信息计算所述待测件相对于所述承载台的偏转角度和/或偏移距离。无需进行机械对准，可在不受机械作用力的情况下，准确地检测到待测件相对承载台的偏转角度和/或偏移距离，从而防止在对准时造成工件的损坏。
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公开(公告)号：CN111754385B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201910234448.2
申请日：2019-03-26
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本发明提供一种数据点模型处理方法及其系统、检测方法及系统、可读介质，其中，所述数据点模型处理方法包括：将待处理模型划分为若干个网格；对各个网格进行标记处理，将所述待处理模型标记为二值图像形成网格图像；对所述网格图像进行连通域判断，当网格图像包括分离的主网格图像和附加网格图像时，获取所述附加网格图像；从所述初始模型中去除所述附加网格图像中数据点对应的初始数据点。所述数据点模型处理方法能够加快处理速度，从而增加检测速度。
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公开(公告)号：CN113379835B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202110730456.3
申请日：2021-06-29
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要： 本申请公开了一种检测设备的校准方法、装置、设备及可读存储介质，所述校准设备获取不同检测区域的检测图像；确定每个所述检测区域的检测图像的像素点的像素值；根据所述像素值确定其对应的所述检测区域的光学评价值；根据每个所述检测区域的光学评价值确定检测设备的校准参数；根据所述校准参数对所述检测设备进行校准。所述检测设备通过校准设备获取校准片的不同检测图像，并根据检测图像的图像特征对检测设备中的检测镜头或相机进行调整，从而校准检测镜头的设置高度与相机的俯仰角度，提高检测设备的检测精度。
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公开(公告)号：CN114079707B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202010817052.3
申请日：2020-08-13
申请人： 深圳中科飞测科技股份有限公司
IPC分类号： H04N25/625 , H04N25/68 , H04N23/74 , H04N23/56
摘要： 本发明公开了一种图像采集方法、设备、计算机可读存储介质及电子设备。本发明的图像采集方法，应用于半导体缺陷图像采集设备中，所述设备包括图像采集组件和用于给所述图像采集组件提供照明的脉冲光源组件，所述方法包括：所述图像采集组件开始曝光；所述脉冲光源组件在所述曝光开始第一时间后，提供脉冲光信号，使所述曝光结束时，所述脉冲光信号的光学参数处于预设范围；及结束曝光，输出第一图像。本发明的图像采集方法，在曝光后一段时间才提供脉冲光信号，有效避免了获取的缺陷图像过度曝光的现象。
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