公开(公告)号：CN114074216A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202110954818.7

申请日：2021-08-19

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 荻原孝文 ,  手塚大贵 ,  宫田裕大

IPC: B23K26/042 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 激光加工装置构成为执行：第1处理，基于规定的计算式生成第1分支图案，使所生成的第1分支图案显示于反射型空间光调制器；第2处理，控制光源单元以出射激光；第3处理，以检测利用第1分支图案的分支后的各激光的反射光的方式控制检测部；第4处理，导出分支后的各激光的输出实测值，并生成使输出实测值接近输出目标值的分支图案即第2分支图案的生成所涉及的平衡参数；和第5处理，根据平衡参数对计算式进行修正，基于修正后的计算式，生成第2分支图案并设定并显示于反射型空间光调制器以用于加工工艺。

公开(公告)号：CN115362532A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180026048.8

申请日：2021-03-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 坂本刚志 ,  宫田裕大 ,  关本祐介 ,  是松克洋

IPC: H01L21/301 ,  B23K26/073 ,  B23K26/53

Abstract: 激光加工装置，具备支承部、照射部和控制部。照射部，具有成形部，其使激光成形为在与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向。控制部具有：决定部，其将在含有III‑V族化合物半导体的对象物的外缘的内侧沿着延伸成环状的线使聚光区域的一部分相对地移动的情况下的长边方向的朝向，决定成为与聚光区域的一部分的移动方向之间的角度比45°小的角度的规定方向；加工控制部，其沿着线使聚光区域的一部分相对地移动而形成改性区域，在对象物的与激光入射面相反的侧的相反面产生具有长边方向的形状的照射痕；以及调整部，其在通过加工控制部形成改性区域的情况下，调整长边方向的朝向以成为决定部所决定的规定方向。