激光加工装置和激光加工方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114074216A

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110954818.7

    申请日:2021-08-19

    Abstract: 激光加工装置构成为执行:第1处理,基于规定的计算式生成第1分支图案,使所生成的第1分支图案显示于反射型空间光调制器;第2处理,控制光源单元以出射激光;第3处理,以检测利用第1分支图案的分支后的各激光的反射光的方式控制检测部;第4处理,导出分支后的各激光的输出实测值,并生成使输出实测值接近输出目标值的分支图案即第2分支图案的生成所涉及的平衡参数;和第5处理,根据平衡参数对计算式进行修正,基于修正后的计算式,生成第2分支图案并设定并显示于反射型空间光调制器以用于加工工艺。

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