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公开(公告)号：CN102877117A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210349645.7
申请日：2012-09-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。该运行方法的运行过程包括：加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段、冷却阶段。本发明能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。
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公开(公告)号：CN102154687A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110114078.2
申请日：2011-05-04
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本发明由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。
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公开(公告)号：CN102877117B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210349645.7
申请日：2012-09-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。该运行方法的运行过程包括：加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段、冷却阶段。本发明能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。
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公开(公告)号：CN102154687B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110114078.2
申请日：2011-05-04
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本发明由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。
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公开(公告)号：CN102312284A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110189217.8
申请日：2011-07-06
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 杭州慧翔电液技术开发有限公司
摘要： 本发明涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。本发明增大了排气管道通径，提高了排气效率；减少了氧化物在排气管内的堆积；避免了氧化物堆积在下保温盖表面；简化了排气管道的清扫操作，提高了生产效率。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。
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公开(公告)号：CN103887034A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410067773.1
申请日：2014-02-27
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 杭州慧翔电液技术开发有限公司
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种CUSP磁场发生装置线圈及其加工方法；该发明包括由铜管绕制成圆筒型的线圈组、线圈组一侧设有进出水端、环氧树脂、绝缘板、电极、连接块；所述绝缘板设在铜管之间，环氧树脂通过浇筑的方式包覆整个线圈组；所述连接块和电极均设置在到线圈组进出水端。本发明的有益效果有：线圈制造工艺安排合理，工业化生产成品率高；线圈由优化的铜管绕制而成，并采用环氧树脂整体浇筑成型，线圈整体热稳定性好；线圈单元采用多组铜管并行绕制的方法，缩短了单根铜管的水路距离，线圈整体温升小；可满足任意径向匝数、轴向匝数为4的倍数的线圈的绕制要求，为线圈的优化设计提供更加灵活的选择。
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公开(公告)号：CN102605419A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210081835.5
申请日：2012-03-25
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/00
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。该装置包括均具有圆盘状主体的直槽夹料盘、弯槽夹料盘和固定夹料盘；直槽夹料盘上设有径向的直槽，弯槽夹料盘设有曲线状的弯槽；下端设台阶状突起的坯料夹头贯穿直槽和弯槽，并通过与夹紧螺钉的配合实现直槽夹料盘和弯槽夹料盘的活动连接及平面贴合，坯料夹头、直槽、弯槽具有相对应的数量且一一对应。本发明中，坯料夹头和多晶料之间采用卡槽式结构联接，能够对多晶料实现稳定可靠的夹持，保证拉晶过程能够顺利进行；在直槽和弯槽的导向下，坯料夹头的移动可实现对不同尺寸大小的多晶料的夹持，可保证在拉晶过程中多晶料的稳定性。
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公开(公告)号：CN103887034B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201410067773.1
申请日：2014-02-27
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 杭州慧翔电液技术开发有限公司
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种CUSP磁场发生装置线圈的加工方法；该方法包括步骤：铜管的选取、线圈组的绕制、初检、线圈组的浇筑、整体检验。与现有技术相比，本发明的线圈制造工艺安排合理，工业化生产成品率高；线圈由优化的铜管绕制而成，并采用环氧树脂整体浇筑成型，线圈整体热稳定性好；线圈单元采用多组铜管并行绕制的方法，缩短了单根铜管的水路距离，线圈整体温升小；优化的线圈绕制工艺，可满足任意径向匝数、轴向匝数为4的倍数的线圈的绕制要求，为线圈的优化设计提供更加灵活的选择。
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公开(公告)号：CN102605419B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210081835.5
申请日：2012-03-25
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/00
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。该装置包括均具有圆盘状主体的直槽夹料盘、弯槽夹料盘和固定夹料盘；直槽夹料盘上设有径向的直槽，弯槽夹料盘设有曲线状的弯槽；下端设台阶状突起的坯料夹头贯穿直槽和弯槽，并通过与夹紧螺钉的配合实现直槽夹料盘和弯槽夹料盘的活动连接及平面贴合，坯料夹头、直槽、弯槽具有相对应的数量且一一对应。本发明中，坯料夹头和多晶料之间采用卡槽式结构联接，能够对多晶料实现稳定可靠的夹持，保证拉晶过程能够顺利进行；在直槽和弯槽的导向下，坯料夹头的移动可实现对不同尺寸大小的多晶料的夹持，可保证在拉晶过程中多晶料的稳定性。
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公开(公告)号：CN104213189A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410414672.7
申请日：2014-08-21
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种多晶铸锭炉自动测长晶装置。该种多晶铸锭炉自动测长晶装置包括石英玻璃棒、拉线传感器、气缸和波纹管，石英玻璃棒的一端伸入多晶铸锭炉的内部，另一端设置在波纹管内，并且固定在石英玻璃棒夹上，气缸通过波纹管支架驱动波纹管上下运动，进而驱动石英玻璃棒和拉线传感器上的拉绳上下运动；拉线传感器用于将通过拉绳上下运动测得的数据，转换为模拟信号传送到外部，实现对测得的数据进行显示并记录。本发明采用全自动测量方式，不但能减轻测量人员的劳动强度，避免了人工读数的误差，同时数据由控制模块直接读取记录，方便后续分析，提高了测量的准确度和测量效率。
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