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公开(公告)号：CN102312284B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201110189217.8
申请日：2011-07-06
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 杭州慧翔电液技术开发有限公司
摘要： 本发明涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。本发明增大了排气管道通径，提高了排气效率；减少了氧化物在排气管内的堆积；避免了氧化物堆积在下保温盖表面；简化了排气管道的清扫操作，提高了生产效率。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。
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公开(公告)号：CN102877117B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210349645.7
申请日：2012-09-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。该运行方法的运行过程包括：加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段、冷却阶段。本发明能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。
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公开(公告)号：CN102154687B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110114078.2
申请日：2011-05-04
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本发明由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。
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公开(公告)号：CN102312284A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110189217.8
申请日：2011-07-06
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 杭州慧翔电液技术开发有限公司
摘要： 本发明涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。本发明增大了排气管道通径，提高了排气效率；减少了氧化物在排气管内的堆积；避免了氧化物堆积在下保温盖表面；简化了排气管道的清扫操作，提高了生产效率。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。
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公开(公告)号：CN102877117A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210349645.7
申请日：2012-09-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。该运行方法的运行过程包括：加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段、冷却阶段。本发明能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。
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公开(公告)号：CN102154687A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110114078.2
申请日：2011-05-04
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，该装置包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本发明由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。
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公开(公告)号：CN207061029U
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201720555978.3
申请日：2017-05-18
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B65G1/04
摘要： 本实用新型涉及一种用于多晶硅块物流配送及机器人上下料的周转料车结构，包括料车框架支撑结构、多晶硅块存放结构；所述料车框架支撑结构包括托架和支撑脚；托架为正方形结构的托架，正方形结构的四条边采用四根铝型材连接而成，且托架正方形结构的中间还固定支撑网；所述多晶硅块存放结构为正方形结构，多晶硅块存放结构上设有硅块放置工位，相邻硅块放置工位之间的距离相等。本实用新型适用agv机器人小车进行多晶硅块的物流配送，agv机器人小车可以将该周转料车和上面放置的多晶硅块一起顶起来并按照既定路线运输，同时保证运输过程中硅块的平稳性，并可以实现多晶硅的无人自动物流配送。
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公开(公告)号：CN207060821U
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201720560824.3
申请日：2017-05-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B65D61/00
摘要： 本实用新型涉及单晶硅棒自动检测领域，旨在提供一种用于单晶硅棒自动检测线运输及上下料的托盘结构。该种用于单晶硅棒自动检测线运输及上下料的托盘结构，包括底板、支撑板组件、全向轮、止回组件。单晶硅棒能在本实用新型上进行绕轴旋转和轴向平移，方便单晶硅棒在自动检测线上的自动上下料和检测，自动化程度更高，提高了工作效率，降低了劳动成本；本实用新型能解决目前以人工方式将单晶硅棒搬运到各个检测平台，其工作效率低、劳动强度大、存在安全隐患等问题。
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公开(公告)号：CN202989351U
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201220479990.8
申请日：2012-09-19
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种基于多加热器的铸锭炉热场结构。该铸锭炉热场结构包括置于炉室内的坩埚，坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器、位于坩埚底部的热交换台、位于热交换台底部的底部加热器；与顶部加热器及侧部加热器相配合的是红外测温仪，与底部加热器相配合的是红外测温仪或热电偶。本实用新型能够有效监测热场各部分的温度，调整各个加热器的功率输出，建立更加合理的温度梯度，适应大投料量以及大尺寸铸锭趋势，使长晶初期晶核形成更均匀，增大晶粒，减少晶界，改善晶向，降低能耗，最终提高晶锭的品质。
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公开(公告)号：CN202090094U
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201120137901.7
申请日：2011-05-04
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及硅单晶材料加工设备，旨在提供一种大直径单晶炉勾型电磁场装置。该装置包括用于产生勾型电磁场的直流线圈，还包括至少两个充满冷却油的环状密闭容腔，且上下叠加呈中空的圆筒状；每个密闭容腔均由位于外侧的半包围式的屏蔽体、位于内侧的内筒和两块厄板以焊接形式相互连接形成，且通过管路与油泵、油冷却器共同组成强制油冷却系统；密闭容腔中分别设置一组以实心铜管绕制成的直流线圈。本实用新型由于采用了上下两个线圈平行布置方式，产生的磁力线分布为轴对称，同时磁场强度连续可调，晶棒的轴向径向均匀性得到保证，单晶氧含量控制效果要好。采用二分式结构使用时通过螺栓联接起来，运输、拆卸、安装和调试都更简单、方便。
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