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公开(公告)号：CN110026826A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201811166187.7
申请日：2018-09-30
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备及其使用方法，本发明提供了一种全自动单晶硅棒切方磨削一体加工的设备，把圆棒通过切方、边角磨削和平面磨削一体加工成方棒，能够有效解决现有技术中的问题，在提高硅棒加工的效率、降低硅棒加工的成本、提升晶棒尺寸精度的同时又能减少设备的种类和数量，节省厂房面积，节约人力和物流成本。本申请可以使得切方组件和磨削组件相互独立工作互相不干涉，提高加工效率；此外，切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。
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公开(公告)号：CN110026826B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201811166187.7
申请日：2018-09-30
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备及其使用方法，本发明提供了一种全自动单晶硅棒切方磨削一体加工的设备，把圆棒通过切方、边角磨削和平面磨削一体加工成方棒，能够有效解决现有技术中的问题，在提高硅棒加工的效率、降低硅棒加工的成本、提升晶棒尺寸精度的同时又能减少设备的种类和数量，节省厂房面积，节约人力和物流成本。本申请可以使得切方组件和磨削组件相互独立工作互相不干涉，提高加工效率；此外，切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。
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公开(公告)号：CN209014544U
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201821553625.0
申请日：2018-09-23
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种单晶硅棒晶向检测装置，包括中转台、安装在中转台上并且在中转台上上下滑动的移动端夹头、位于移动端夹头的相对位置处并安装在中转台上的固定端夹头；中转台上还安装有一对用于测量晶棒棱线的晶棒棱测量组件，这一对晶棒棱测量组件用于在晶棒棱线检测时分别贴紧晶棒两端的侧面；固定端夹头通过旋转机构带动做360°旋转，从而带动固定端夹头上的晶棒旋转。本实用利用其设有的移动端夹头和固定端夹头将硅棒夹住，并通过各自设有的万向夹头机构在360°范围内小幅度自由调整，以适应装夹端面不平整的晶棒，从而保证晶棒的竖直装夹，消除了环境因素对测量结果的影响，检测结果更加可靠，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN209408072U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201821623828.2
申请日：2018-09-30
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备，一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备，包括底架，安装在底架上的机械手组件、切方工作台、磨削工作台，切方工作台和磨削工作台相互独立，可以同时进行单晶硅棒的切方和磨削复合加工；机械手组件包括专用于切方工作台和磨削工作台上晶棒的上料、中转及下料操作的部分。本申请可有效缩短晶棒流转的流程；同时，切方磨削工作相互独立，可同时进行加工，节约加工耗时此外，切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍提高加工效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209832248U
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201822120840.8
申请日：2018-12-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于单晶硅棒加工的进刀机构，包括开方刀头主体，还包括排线装置；排线装置可拆卸式的安装在开方刀头主体上，排线装置设有八个并分成4组，每组的排线装置的线轮相互平行；排线装置上方还设有安装在开方刀头主体上的换向导轮，换向导轮设有3个，每个换向导轮与相邻组的排线装置相配合，使得排线装置的线轮上的金刚线和换向导轮上的金刚线在开方刀头主体下方形成“井”字形布置。本实用新型通过排线装置及换向导轮使金刚线在开方刀头主体下方形成井字形布设，能使单晶硅棒一次开方完成，提高单晶硅棒开方效率；开方刀头主体内设有的冷却水路，能够随刀头主体运动而运动，可以实现更好的冷却效果，从而提高加工质量。
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公开(公告)号：CN209291413U
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201821823221.9
申请日：2018-11-06
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于单晶硅棒加工的多功能储料台装置，包括储料台底板，翻转机构和存储夹紧测量机构；翻转机构与储料台底板底部一端连接，用以实现储料台装置在0～90°的翻转，储料台底板底部另一端通过轴承座上的轴与轴承座转动连接；储料台底板上的前后两侧分别对应的安装一对支撑架，支撑架上沿储料台底板的长度方向分别固定有过渡板，过渡板上对应的装有滚轮支架；滚轮支架的相对侧面上分别间隔的装有方棒滚轮，每个滚轮支架另一侧面上间隔的装有圆棒滚轮；存储夹紧测量机构包括垫板及气缸；气缸包括沿储料台底板长度方向运行的滑块，滑块上设有气缸撞块，滑块侧面装有位移传感器。
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