- 专利标题: 一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备及其使用方法
- 专利标题(英): Full-automatic single crystal silicon rod cutting and grinding combined processing integrated equipment and using method thereof
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申请号: CN201811166187.7申请日: 2018-09-30
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公开(公告)号: CN110026826A公开(公告)日: 2019-07-19
- 发明人: 曹建伟 , 傅林坚 , 沈文杰 , 谢龙辉 , 卢嘉彬 , 周建灿 , 张晟明 , 陈德洋
- 申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 代理机构: 杭州中成专利事务所有限公司
- 代理商 朱莹莹
- 主分类号: B24B1/00
- IPC分类号: B24B1/00 ; B24B27/00 ; B24B41/00 ; B24B41/02 ; B24B41/06 ; B28D5/00 ; B28D5/04
摘要:
本发明涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备及其使用方法,本发明提供了一种全自动单晶硅棒切方磨削一体加工的设备,把圆棒通过切方、边角磨削和平面磨削一体加工成方棒,能够有效解决现有技术中的问题,在提高硅棒加工的效率、降低硅棒加工的成本、提升晶棒尺寸精度的同时又能减少设备的种类和数量,节省厂房面积,节约人力和物流成本。本申请可以使得切方组件和磨削组件相互独立工作互相不干涉,提高加工效率;此外,切方磨削动力头采用对称布局,同时进行双面加工,成倍提高加工效率。
公开/授权文献
- CN110026826B 一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备及其使用方法 公开/授权日:2024-04-16