一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备及其使用方法
摘要:
本发明涉及一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备及其使用方法,本发明提供了一种全自动单晶硅棒切方磨削一体加工的设备,把圆棒通过切方、边角磨削和平面磨削一体加工成方棒,能够有效解决现有技术中的问题,在提高硅棒加工的效率、降低硅棒加工的成本、提升晶棒尺寸精度的同时又能减少设备的种类和数量,节省厂房面积,节约人力和物流成本。本申请可以使得切方组件和磨削组件相互独立工作互相不干涉,提高加工效率;此外,切方磨削动力头采用对称布局,同时进行双面加工,成倍提高加工效率。
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