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公开(公告)号：CN116330146A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211659672.4
申请日：2022-12-22
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/005 , B24B37/34 , G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种基于车间物联网的平面研磨管控方法，旨在克服现有技术中研磨车间无法实现研磨机、操作员、被研磨物、工作环境和生产制程智能管控的问题，缺乏基于物联网技术实现在线测频系统的在线监控、分析和控制，其包括系统执行以太网参数读取流程，获取上次关机前以太网连接状态并判断上次关机前以太网连接状态是否为连接成功，若是则执行以太网模块连接配置流程再执行以太网连接流程实现以太网连接，若否则执行以太网连接流程实现以太网连接；判断以太网连接状态是否为连接成功，若是则执行服务器下发心跳包处理流程和OLAM上传心跳包流程。
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公开(公告)号：CN111230725B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202010044287.3
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN117410193A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311087540.3
申请日：2023-08-28
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: H01L21/66 , H01L21/683 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种硅片边缘检测方法，包括以下步骤：S1：硅片上料至上料工位，控制端确认并调用当前硅片的尺寸信息、边缘类型；S2：硅片移动至第一检测工位，第一光源提供打光，第一摄像头采集硅片的灰度图像上传至控制端。本发明采用的检测方法，能够灵活地区分检测不同硅片的尺寸类型，并根据边缘类型采用相应的光源，能适用多种类型的硅片检测，适用性强；采用的视觉定位方法配合位置角度修正，能够极大提高检测中的定位效率和准确度；通过采集图像进行边缘查找，拟合内外边缘线并计算间距的方式，替代人眼观察和辅助画线测量，使测量结果的准确度和效率大大提高，单硅片多点位的检测也能够快速准确地完成。
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公开(公告)号：CN109940506A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910240598.4
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN112162145B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202010942393.3
申请日：2020-09-09
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/02 , G01R29/027 , G01R29/033
Abstract: 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的自动搜索方法，自动搜索实现对SC晶片当前频率的搜索，并且根据自动搜索的不同结果进行不同的处理，若指定圈数内未搜索到频率则系统提示搜索异常报警，若搜索到一个频率则进行单频率跟踪测频流程，若搜索到两个频率则进行双频率跟踪测频流程；同时当系统出现测频异常且频率未到达停机阈值时，调用自动搜索功能重新搜索频率；本发明提供了一种处理效率高、数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的自动搜索方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111230724B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202010043530.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种石英晶片谐振频率的整盘频率补偿和整盘散差统计方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN111230725A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010044287.3
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN111230724A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010043530.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种石英晶片谐振频率的整盘频率补偿方法和整盘散差统计方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN109940506B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201910240598.4
申请日：2019-03-27
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/013 , B24B49/00 , G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。
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公开(公告)号：CN116117679A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211659661.6
申请日：2022-12-22
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: B24B37/005 , B24B37/34 , G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种基于车间物联网的平面研磨管控系统，旨在克服现有技术中研磨车间无法实现研磨机、操作员、被研磨物、工作环境和生产制程智能管控的问题，缺乏基于物联网技术实现在线测频系统的在线监控、分析和控制，其系统包括OLAM、服务器和数据库。
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