公开(公告)号：CN104617178B

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201510055267.5

申请日：2015-02-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 吕建国 ,  江庆军 ,  孙汝杰 ,  冯丽莎 ,  朱恒伟

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/076 ,  H01L31/032 ,  H01L31/20

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法，以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极，且光激活层为非晶氧化物薄膜，该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0≦x≦1.0。制备本发明的紫外探测器的步骤包括衬底准备步骤、光激活层形成步骤以及形成金属电极步骤，其中光激活层形成步骤为通过低温化学反应法形成化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18的非晶氧化物薄膜。本发明制得的紫外探测器，暗电流为10‑9~10‑6 A、光电流为10‑8~10‑5 A，响应灵敏度为10~50。本发明使用的制备方法操作简单、成本低，制得的紫外探测器具有探测灵敏度高等优点，在军事、民用等领域具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN104568652A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510008294.7

申请日：2015-01-08

Applicant: 浙江大学

Inventor： 陈伟芳 ,  吴昌聚 ,  赵文文 ,  朱恒伟

IPC: G01N9/00

Abstract: 本发明公开了一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置。根据圆球以高超声速飞行的再入运动方程，通过高精度计算或高精度测量获得方程其他参数的精确值，从而推算出高精度的大气密度。利用这种方法，可以在飞行器发射前按照需要的弹道投放大气密度探测圆球，所获得的大气密度和飞行器具有时间上的同步性，在飞行空域上也一致，即具有时空一致性。

公开(公告)号：CN104561928A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410811446.2

申请日：2014-12-24

Applicant: 浙江大学

Inventor： 吕斌 ,  李文杰 ,  朱恒伟 ,  吕建国

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/402 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明涉及化学气相沉积法领域，具体涉及一种在玻璃基底上二氧化硅薄膜的低压化学气相法（LPCVD）沉积。本发明在CVD沉积过程中，将硅源和氧气分开通入反应腔，先利用硅源在玻璃基底上沉积一层硅膜，然后再利用氧气将硅膜氧化从而获得二氧化硅薄膜；具体步骤包括1）化学清洗玻璃基底；2）CVD设备抽真空；3）沉积硅膜；4）氧化硅膜；5）室温冷却，最后在玻璃基底上制得二氧化硅薄膜。其中，在步骤3）、4）沉积过程中，石英管内压强一直处于150Pa-250Pa的低压环境中。通过该技术在玻璃基底上制备出致密、稳定的、均匀的纯SiO2薄膜，其具有致密均匀、牢固耐磨损、抗侵蚀性能高、耐酸碱性能强、无色透明、光透过率高等优越性能。

公开(公告)号：CN104568652B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201510008294.7

申请日：2015-01-08

Applicant: 浙江大学

Inventor： 陈伟芳 ,  吴昌聚 ,  赵文文 ,  朱恒伟

IPC: G01N9/00

Abstract: 本发明公开了一种高精度测量临近空间大气密度的方法及测量装置。根据圆球以高超声速飞行的再入运动方程，通过高精度计算或高精度测量获得方程其他参数的精确值，从而推算出高精度的大气密度。利用这种方法，可以在飞行器发射前按照需要的弹道投放大气密度探测圆球，所获得的大气密度和飞行器具有时间上的同步性，在飞行空域上也一致，即具有时空一致性。

公开(公告)号：CN104617178A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201510055267.5

申请日：2015-02-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 吕建国 ,  江庆军 ,  孙汝杰 ,  冯丽莎 ,  朱恒伟

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/076 ,  H01L31/032 ,  H01L31/20

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/095 ,  H01L31/032 ,  H01L31/20 ,  H01L31/208

Abstract: 本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法，以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极，且光激活层为非晶氧化物薄膜，该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0≦x≦1.0。制备本发明的紫外探测器的步骤包括衬底准备步骤、光激活层形成步骤以及形成金属电极步骤，其中光激活层形成步骤为通过低温化学反应法形成化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18的非晶氧化物薄膜。本发明制得的紫外探测器，暗电流为10-9~10-6A、光电流为10-8~10-5A，响应灵敏度为10~50。本发明使用的制备方法操作简单、成本低，制得的紫外探测器具有探测灵敏度高等优点，在军事、民用等领域具有重要的应用价值。