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公开(公告)号:CN113981398A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111266165.X
申请日:2021-10-28
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射领域,具体涉及一种TiAlN复合薄膜的制备方法以及稀土掺杂TiAlN复合膜层。该方法包括以下步骤:(1)采用磁控溅射方式在基体表面制备稀土合金过渡层;所述稀土合金过渡层由La、Ce中的一种和Ti组成;(2)以氮气为工作气体,通过磁控溅射在稀土合金过渡层上制备TiAlLaN薄膜或TiAlCeN薄膜;其中,La或Ce的掺杂量为2.5~5.5%。本发明的采用磁控溅射制备稀土掺杂TiAlN复合薄膜,沉积所得薄膜致密性和膜基结合力好,摩擦学性能优良,非常适于TiAlN复合薄膜的工业化制备。
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公开(公告)号:CN115110030B
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202210787585.0
申请日:2022-07-04
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明涉及铈掺杂高熵合金氮化物涂层及其制备方法,属于高熵合金涂层技术领域。本发明的铈掺杂高熵合金氮化物涂层由以下质量百分比的元素组成:Ti 7~10%,Al 5~13%,Cr 10~14%,Nb 14~22%,V 8~11%,Ag 0.7~1.5%,Ce 10~31%,N 19~23%。本发明的铈掺杂高熵合金氮化物涂层中含有铈元素Ce,由于具有活泼的物理化学性质,铈元素Ce可以改变高熵合金中各元素原子在晶格中的位置,进而使高熵合金涂层更大程度地发挥热力学高熵效应、动力学缓慢扩散效应、晶格结构严重畸变效应和性能鸡尾酒效应,促使高熵合金涂层表现出更大的硬度和弹性模量以及更加优异的摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN115161607B
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202210786594.8
申请日:2022-07-04
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明涉及一种稀土掺杂高熵合金氮化物涂层及其制备方法,属于表面工程技术领域。本发明的稀土掺杂高熵合金氮化物涂层由以下质量百分比的元素组成:Ti 8~18%,Cr 10~15%,Nb 12~20%,V 9~12%,Ce 5~8%,Al 9~20%,N 20~35%。本发明的稀土掺杂高熵合金氮化物涂层中含有稀土元素Ce,由于具有活泼的物理化学性质,稀土元素Ce可以改变高熵合金中各元素原子在晶格中的位置,进而使高熵合金涂层中的稀土元素更大程度地发挥热力学高熵效应、动力学缓慢扩散效应、晶格结构严重畸变效应和性能鸡尾酒效应,促使高熵合金涂层表现出更大的硬度和弹性模量以及更加优异的摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN113943929A
公开(公告)日:2022-01-18
申请号:CN202111210414.3
申请日:2021-10-18
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射制备镀覆层领域,具体涉及一种TiLaN复合薄膜的制备方法及耐磨制品。该方法包括以下步骤:(1)采用磁控溅射方式在基体上镀覆稀土合金过渡层;所述稀土合金过渡层由La和Ti组成,La为合金元素;(2)采用磁控溅射方式在稀土合金过渡层上镀覆TiLaN膜层;TiLaN膜层由以下质量分数的组分组成:Ti 55.3‑59.2%,La 4.1%‑6.9%,N 26.2‑30.8%,其余为O。本发明的TiLaN复合薄膜的制备方法,在磁控溅射TiN薄膜时掺杂稀土元素La,实现了复合薄膜的稀土改性,所得复合薄膜具有良好的硬度和摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN115161607A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202210786594.8
申请日:2022-07-04
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明涉及一种稀土掺杂高熵合金氮化物涂层及其制备方法,属于表面工程技术领域。本发明的稀土掺杂高熵合金氮化物涂层由以下质量百分比的元素组成:Ti 8~18%,Cr 10~15%,Nb 12~20%,V 9~12%,Ce 5~8%,Al 9~20%,N 20~35%。本发明的稀土掺杂高熵合金氮化物涂层中含有稀土元素Ce,由于具有活泼的物理化学性质,稀土元素Ce可以改变高熵合金中各元素原子在晶格中的位置,进而使高熵合金涂层中的稀土元素更大程度地发挥热力学高熵效应、动力学缓慢扩散效应、晶格结构严重畸变效应和性能鸡尾酒效应,促使高熵合金涂层表现出更大的硬度和弹性模量以及更加优异的摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN115110030A
公开(公告)日:2022-09-27
申请号:CN202210787585.0
申请日:2022-07-04
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明涉及铈掺杂高熵合金氮化物涂层及其制备方法,属于高熵合金涂层技术领域。本发明的铈掺杂高熵合金氮化物涂层由以下质量百分比的元素组成:Ti 7~10%,Al 5~13%,Cr 10~14%,Nb 14~22%,V 8~11%,Ag 0.7~1.5%,Ce 10~31%,N 19~23%。本发明的铈掺杂高熵合金氮化物涂层中含有铈元素Ce,由于具有活泼的物理化学性质,铈元素Ce可以改变高熵合金中各元素原子在晶格中的位置,进而使高熵合金涂层更大程度地发挥热力学高熵效应、动力学缓慢扩散效应、晶格结构严重畸变效应和性能鸡尾酒效应,促使高熵合金涂层表现出更大的硬度和弹性模量以及更加优异的摩擦学性能。
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