公开(公告)号：CN118497681A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410632922.8

申请日：2024-05-21

Applicant: 河南大学

Inventor： 刘新胜 ,  苗思雨 ,  刘景玲 ,  张世奇 ,  孙晓漫 ,  程轲 ,  杜祖亮

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/58 ,  C23C14/06 ,  H01L31/18 ,  H01L31/032 ,  H01L21/67 ,  C25B1/02 ,  C25B1/55 ,  C25B11/04 ,  C01G19/00 ,  C01G17/00 ,  C01G30/00 ,  C01B19/04

Abstract: 本发明公开一种基于快速热蒸发的半导体薄膜原位掺杂制备装置及其制备半导体薄膜的方法，包括双温区退火炉以及设于双温区退火炉内的石英管，石英管的两端设有端盖，一端的端盖连接有供气管道，另一端的端盖连接带有阀门的抽气管道，石英管内设有薄膜沉积组件，所述薄膜沉积组件包括L形管、花洒结构、支撑架和支撑架盖，支撑架用于支撑衬底，L形管的水平部的末端和花洒结构连接，花洒结构的上端盖设有支撑架，支撑架的顶部盖设有支撑架盖，L形管竖直部的末端封闭，且L形管竖直部用于放置补充剂，L形管的水平部内设有导热条，导热条内设有放置掺杂剂的凹槽，所述花洒结构上设有容纳蒸发源的槽以及供补充剂和掺杂剂通过的毛细穿孔。

公开(公告)号：CN108169722A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711236179.0

申请日：2017-11-30

Applicant: 河南大学

Inventor： 周林 ,  付春玲 ,  王俊 ,  胡振涛 ,  金勇 ,  李军伟 ,  张景一 ,  靳兵 ,  方拥军 ,  李腾飞 ,  张世奇 ,  刘英

IPC: G01S7/40 ,  G01S7/41

Abstract: 本发明所采用的技术方案是：首先通过两部传感器对同一目标的状态的滤波值，构造关于传感器系统偏差的伪量测方程；其次进行与传感器系统偏差状态转移方程的联合，构成新的传感器量测系统模型；最后通过利用与该系统对应的滤波算法进行滤波估计，从而估计出各个传感器的系统偏差。采用本发明所提出的技术方案可有效解决在机动目标的动态演化模型未知且在量测过程中受到外界未知扰动影响的问题，且可对传感器的系统偏差进行准确计算。