采用真空蒸发镀膜可控制备非晶-多晶杂化碲化铋基膜的方法

    公开(公告)号:CN113106396B

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202110383073.3

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明涉及一种采用真空蒸发镀膜可控制备非晶‑多晶杂化碲化铋基膜的方法,步骤:(1)将质量百分比纯度为99.99%的Bi0.5Sb1.5Te3粉末在4~6MPa压力下压制成块体;(2)基底在无水乙醇和去离子水中分别超声清洗5~10min后取出并用氮气吹干;(3)将0.1~0.2g块体放入真空镀膜机中;(4)向真空室内充入3~8min氮气,使其真空度达到2.0×10-4~5.0×10-4Pa;(5)设定加热温度50~180℃,对基底升温;(6)温度升至预定温度后通入氩气并调节气压至1.0×10-2~3.0×10-2Pa时,在PID控制器上设定沉积速率30~45nm/min,沉积时间60~90min;(7)调节输出电流170~185A;打开样品台自转20‑25r/min;开始在基底上沉积制备非晶‑多晶杂化Bi0.5Sb1.5Te3膜;(8)制备完毕。其工艺简单,效果非常显著。

    基于热电效应的自供电温度传感器及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114267781A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111583294.1

    申请日:2021-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于热电效应的自供电温度传感器及制备方法和应用,旨在提供一种基于高性能碲化铋基薄膜热电材料的、灵敏度高、灵活性强的温度传感器及制备方法,以及在监测温室大棚土壤温度方面的应用。该温度传感器包括热电模块,所述热电模块包括基底板,基底板上有成散射状分布的N型碲化铋薄膜和P型碲化锑薄膜,N型碲化铋薄膜和P型碲化锑薄膜间隔设置,N型碲化铋薄膜和P型碲化锑薄膜通过薄膜电极串联起来集成多对P‑N结热电腿,基底板上沿薄膜电极形成的内圈设置有中心镂空孔,中心镂空孔处的镂空位置及内圈的薄膜电极通过高导热材料封装,在中间区域形成导热封装层。该传感器的灵敏度高,灵活性强,具有精准监测的能力。

    一种基于台阶式微圆锥的柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117782381A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311798554.6

    申请日:2023-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于台阶式微圆锥的柔性压力传感器的制备方法,属于电子皮肤传感器技术领域,包括以下步骤:S1、铜片处理;S2、制备台阶式倒立微圆锥结构铜片;S3、制备台阶式微圆锥结构PDMS弹性体;S4、制备台阶式微圆锥结构Ag/Ti/PDMS导电弹性体;S5、制备台阶式微圆锥结构压力传感器,通过该方法制备得到柔性台阶式微圆锥阵列式压力传感器。本发明一种基于台阶式微圆锥的柔性压力传感器及其制备方法,通过本方法制备得到的柔性压力传感器,具有柔性、高灵敏度和宽感压范围的特性,并且能够利用传感器的压力变化识别不同类型的物体。

    一种可拉伸可穿戴农作物传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN120043434A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510208855.1

    申请日:2025-02-25

    Abstract: 本发明涉及一种可拉伸可穿戴农作物传感器及其制备方法,属传感器技术领域。该传感器在柔性衬底上涂覆石墨烯层,首先借助柔性材料使传感器具备良好的拉伸应变能力,然后对石墨烯层进行激光烧蚀构建预设数量的镂空区域,借助镂空区域使石墨烯层形成类网状结构,从而显著提高传感器检测灵敏度、精度,并提高石墨烯层抗拉伸应变能力,形成高灵敏度、高稳定性的柔性传感器整体。同时,本发明该传感器制备方法,与现有以导电纤维织网制备得到的柔性传感器相比,性能相近但制备难度与制备成本均显著降低,可更好满足如农作物检测该类对传感器需求数量较大的使用场景,解决了当前兼备高灵敏与高稳定性的柔性传感器制备复杂且成本过高的技术问题。

    超疏水表面增强普通喷雾荷电性质和包抄沉积效率的方法

    公开(公告)号:CN117654847A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311328680.5

    申请日:2023-10-14

    Abstract: 本发明公开了超疏水表面增强普通喷雾荷电性质以及包抄沉积效率的一种方法,通过将普通喷雾器的喷雾经过超疏水表面反弹或者经过超疏水管子进行处理,使得雾滴荷电性质大大得到增强,从而可用于雾滴的包抄沉积。雾滴的包抄沉积也可以通过设计超疏水(上表面)/亲水(下表面)等浸润性相差较大的上下表面,将普通喷雾喷到超疏水表面上通过固液接触荷电模式,应用于增强雾滴包抄沉积效率上来,经过超疏水表面反弹的雾滴的荷质比可以增加数十到上百倍率,从而极大的增强水滴的包抄沉积效果,将来可用于消毒、除尘、农药喷洒、喷涂等领域。

    采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi-Te-Se膜的方法

    公开(公告)号:CN113122809B

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202110271146.X

    申请日:2021-03-12

    Abstract: 本发明涉及一种采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi‑Te‑Se膜的方法,步骤如下:(1)将质量百分比纯度为99.99%的Bi2Te2.7Se0.3粉末在3~5MPa压力下压制成块体;(2)柔性基底在无水乙醇和去离子水中分别超声清洗5~10min后取出,用氮气吹干;(3)将0.1~0.2g的Bi2Te2.7Se0.3材料压制成的块体放入真空镀膜机的真空室钨舟中,调节基底与钨舟的距离d=8~11cm;(4)向真空室内充入2~8min氮气后停止,随后抽真空;(5)在PID控制器上设定沉积速率40~75nm/min,沉积时间40~60min;(6)开启交流电源,调节输出电流170~185A;打开样品台自转25~30r/min;在基底上沉积制备非晶柔性Bi2Te2.7Se0.3膜;(7)制备完毕。本发明方法简单、新颖,生产环境、反应条件宽松,具有非常显著的实用价值和经济效益。

    采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi-Te-Se膜的方法

    公开(公告)号:CN113122809A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110271146.X

    申请日:2021-03-12

    Abstract: 本发明涉及一种采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi‑Te‑Se膜的方法,步骤如下:(1)将质量百分比纯度为99.99%的Bi2Te2.7Se0.3粉末在3~5MPa压力下压制成块体;(2)柔性基底在无水乙醇和去离子水中分别超声清洗5~10min后取出,用氮气吹干;(3)将0.1~0.2g的Bi2Te2.7Se0.3材料压制成的块体放入真空镀膜机的真空室钨舟中,调节基底与钨舟的距离d=8~11cm;(4)向真空室内充入2~8min氮气后停止,随后抽真空;(5)在PID控制器上设定沉积速率40~75nm/min,沉积时间40~60min;(6)开启交流电源,调节输出电流170~185A;打开样品台自转25~30r/min;在基底上沉积制备非晶柔性Bi2Te2.7Se0.3膜;(7)制备完毕。本发明方法简单、新颖,生产环境、反应条件宽松,具有非常显著的实用价值和经济效益。

    柔性铝电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN114540767B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202210081781.6

    申请日:2022-01-24

    Abstract: 本发明公开了一种柔性铝电极薄膜的制备方法,旨在提供一种界面稳定,无扩散现象的电极薄膜的制备方法。利用磁控溅射法制备,包括下述步骤:将铝靶材固定在真空室中的直流靶头上,将基底上带有碲化铋基薄膜的样品放置在样品台上;抽真空;打开样品旋转;升温样品台温度,温度设定为140‑250℃,将加热电流调到0.5‑2mA缓慢升温;达到预设温度后,通入氩气到真空度为0.15‑0.7Pa;进行磁控溅射:溅射功率为50‑70W,溅射时间为1.5‑4小时;原位退火处理;降温。该方法所得铝电极薄膜具有高导电性能,高柔韧性且与基底结合力强。所的碲化铋薄膜和铝电极薄膜界面稳定,无扩散现象,具有高稳定性。

Patent Agency Ranking