-
公开(公告)号：CN113990776A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111114388.4
申请日：2021-09-23
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/02 , H01L21/66 , H05F3/04
摘要： 本发明公开了一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架，所述框架一侧内壁设置有下料机构，所述下料机构包括支撑架、支撑滑轨、电机一、丝杆一、升降块、晶圆盒，所述框架内壁上连接有两个所述支撑架，所述支撑架顶部连接有所述支撑滑轨，所述支撑滑轨内设置有所述丝杆一，所述丝杆一上套设有所述升降块，所述升降块之间连接有所述晶圆盒。本发明设置有推料机构，并通过驱动机构使得推料机构能够循环进行推料操作，实现自动上料，通过接料机构将晶圆片送至除静电机构内，自动进行除静电，然后由分选机构检测晶圆片是否合格，不合格的晶圆片将重新进行除静电，无需人工操作，大大节省人力劳动，提高效率。
-
公开(公告)号：CN112916502A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110179121.7
申请日：2021-02-08
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： B08B3/12 , B08B9/30 , B08B9/36 , B08B9/42 , B08B13/00 , F26B3/04 , F26B15/04 , F26B21/00 , F26B25/00
摘要： 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法，包括以下步骤：晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干，完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成，所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成，所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。
-
公开(公告)号：CN112582315B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110224962.5
申请日：2021-03-01
申请人： 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种防氧化硅片清洗装置，包括：箱体组件，所述箱体组件包括清洗箱，所述清洗箱开口处设置有滑动盖，所述清洗箱顶部侧面设置有容置槽，所述滑动盖嵌于所述容置槽中；所述清洗箱内还设置有支撑柱，所述支撑柱上套设有支撑板，所述支撑柱上设置有插接孔；放置组件和提把，所述提把插接在所述插接孔中，所述放置组件与所述提把连接；本发明便于将硅片放置在药液槽中，且可存放数量多，便于拿取。
-
公开(公告)号：CN112582315A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202110224962.5
申请日：2021-03-01
申请人： 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种防氧化硅片清洗装置，包括：箱体组件，所述箱体组件包括清洗箱，所述清洗箱开口处设置有滑动盖，所述清洗箱顶部侧面设置有容置槽，所述滑动盖嵌于所述容置槽中；所述清洗箱内还设置有支撑柱，所述支撑柱上套设有支撑板，所述支撑柱上设置有插接孔；放置组件和提把，所述提把插接在所述插接孔中，所述放置组件与所述提把连接；本发明便于将硅片放置在药液槽中，且可存放数量多，便于拿取。
-
公开(公告)号：CN112916502B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110179121.7
申请日：2021-02-08
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： B08B3/12 , B08B9/30 , B08B9/36 , B08B9/42 , B08B13/00 , F26B3/04 , F26B15/04 , F26B21/00 , F26B25/00
摘要： 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法，包括以下步骤：晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干，完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成，所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成，所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。
-
公开(公告)号：CN213546274U
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202023292110.X
申请日：2020-12-30
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本申请涉及一种氮气加热器，具有氮气通过管，且氮气通过管的首尾两端分别为入口接头和出口接头，氮气通过管外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管轴向分别形成隔离腔体和加热腔体，隔离腔体和加热腔体之间通过法兰连接；加热腔体内设置有加热管，所述加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外，且加热管两端的接电柱位于所述隔离腔体内。加热管以双股绕线方式进行缠绕，加热管为电阻发热管。本申请的氮气加热器，设置隔离腔体和加热腔体形成两个独立腔体，带电接头位于隔离腔体内，更加安全。同时，加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外能够提高热交换效果，使得在更短时间内能够把氮气加热到所需温度。
-
-
-
-
-
-
搜索结果
7 条记录 (耗时 0.039 秒)
