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公开(公告)号：CN116682756B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202310549644.5
申请日：2023-05-16
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687 , F26B21/00
摘要： 本申请涉及一种干燥清洗设备，其中包括晶圆升降机构，晶圆升降机构的喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
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公开(公告)号：CN116913833A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310639174.1
申请日：2023-05-31
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本申请涉及一种晶圆水平平移机构，包括承载座及若干承载臂，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
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公开(公告)号：CN116230805A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310165957.0
申请日：2023-02-24
申请人： 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种光伏清洗设备水膜喷淋方法，包括以下步骤，S1：光伏硅片由传输辊输送到喷淋头下方；S2：所述喷淋头喷出液体，所述液体由水箱供给槽体，槽体内的主槽的液体经过喷淋头喷出，在喷淋头喷出液体的同时，主槽的液体溢流到溢流槽内，并从溢流槽回流到水箱中；S3：光伏硅片沿着喷淋头的垂直方向传输，直至光伏硅片完全穿过喷淋头进入下一工序。工作时液体经过喷淋管从喷淋头喷出以在光伏硅片顶面形成水膜的同时，保持主槽内的液体处于溢流状态。也即在喷淋时，同时保持溢流，以使得主槽内水位保持恒定，从而使喷淋头水压恒定，进而使得喷淋头流出的流量保存恒定，提高水膜质量的稳定性。
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公开(公告)号：CN116053188B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310040867.9
申请日：2023-01-13
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/02 , B08B3/10
摘要： 本申请属于晶圆清洗或者干燥生产设备技术领域，涉及一种圆片倾斜旋转的承载装置，通过相互传动连接的第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴将动力从第一支撑安装板上的一端传递到第三支撑安装板上，从而实现了第三支撑安装板上放置的晶圆篮内的晶圆在晶圆容纳盒内的转动，同时，万向联轴杆、升降板和升降块的设置，使得晶圆篮能够在承接机械手搬运的晶圆篮时为水平状态，下降到槽体内时为倾斜状态，无需机械手的配合，提高了工作效率。本申请还提供了基于上述圆片倾斜旋转的承载装置的圆片清洗干燥方法。
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公开(公告)号：CN115841974B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310159230.1
申请日：2023-02-24
申请人： 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种光伏清洗设备水膜喷淋设备，属于光伏生产设备技术领域，设备由槽体和喷淋头两部分组成。槽体包括由溢流板分割而形成的主槽和溢流槽，所述主槽内设置有进水管，沿着所述主槽长度方向的侧板上设置有至少一个出水口，所述溢流槽的侧板上开设有溢流口，工作时液体经过喷淋管从喷淋头喷出以在光伏硅片顶面形成水膜的同时保持主槽内的液体处于溢流状态。在喷淋时，同时保持溢流，以使得主槽内水位保持恒定，从而使喷淋头水压恒定，进而使得喷淋头流出的流量保存恒定，提高水膜质量的稳定性。
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公开(公告)号：CN115532902A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210963637.5
申请日：2022-08-11
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： B21D7/02 , B21D7/16 , B21D43/00 , B21D43/08 , B29C63/18 , B29C53/08 , B29C53/84 , H01L21/677 , B05D7/14
摘要： 本申请涉及一种晶圆运输机械手吊篮支撑杆生产方法及得到的产品，由不锈钢管、外喷涂的ptfe层和外套的PFA管构成，具有耐腐蚀、耐磨损的优点。此外，通过感应加热不锈钢管，再通过热传递到PFA管，使PFA管温度达到120‑150摄氏度，使PFA管变软，防止弯折时PFA管发生断裂，提高产品的质量。
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公开(公告)号：CN115274516A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210723678.7
申请日：2022-06-23
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本申请涉及一种无篮晶圆水平传输方法，通过无篮晶圆承载座将晶圆从上料位置‑传输位置‑下料位置之间进行传输，处于上料位置和下料位置无篮晶圆承载座为水平状态，上料位置到下料位置中间的传输位置时无篮晶圆承载座以水平倾斜状态，方便晶圆上下料，同时保证晶圆在运输过程中提高安全性。
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公开(公告)号：CN114508909B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210116278.X
申请日：2022-01-30
申请人： 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种移动式槽式烘干结构，包括烘干机构、循环机构，所述烘干机构外部安装有所述循环机构，还包括用于提供烘吹的风管机构和用于实现移动烘吹的移动烘吹机构以及用于配合所述风管机构和所述移动烘吹机构的开合机构。本发明利用移动烘吹机构实现横向移动的烘吹，同时无需布设新的管线，只需收集吹风管的风即可为吹嘴提供大气流，从而提高烘吹效果，通过所述开合机构，从而能够实现单电机情况下，调节移动空心筒的位置，同时在需要调节所述吹风管的烘吹角度时也能够快速进行调节。
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公开(公告)号：CN112820627B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202011615745.0
申请日：2020-12-30
申请人： 江苏亚电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高效晶圆片的清洗方法，使用的装置包括清洗桶，所述清洗桶主要由外桶体、内桶体、喷头组成，所述外桶体内侧顶部固定有所述内桶体，所述内桶体内侧顶部设置有向下倾斜的所述喷头，还包括驱动机构，所述驱动机构包括机架、电机，所述机架通过螺栓连接在所述外桶体顶部。本发明通过联动的方式对晶圆进行清洗，实现了一次清洗多个晶圆的功能，提高了清洗效率，还可以在晶圆上升的过程中，利用内桶体内部的清洗液对晶圆进行冲洗，使得外桶体内部的清洗液使用的时间更长，进而实现了节约清洗液的功能；还实现了可以安装不同大小的晶圆，提高了本装置的实用性，还可以通过把插接头从连接头底部拆卸下来，使得安装晶圆时更加的方便。
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公开(公告)号：CN114935211A
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210161361.9
申请日：2022-02-22
申请人： 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号： F24H1/14 , F24H9/00 , F24H9/1818
摘要： 本申请涉及一种清洗液加热筒，导流板将清洗液入口分成两部分，使得清洗液入口流出入的清洗液分成两部分，导流板分开清洗液入口流入的清洗液，防止进入的清洗液直接撞击“加热棒”，降低流动阻力，提高清洗液流入速度。同时，两部分清洗液也能很好地与两部分的加热棒进行充分热交换。
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