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公开(公告)号:CN112808683B
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202011613503.8
申请日:2020-12-30
申请人: 江苏亚电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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公开(公告)号:CN112808685A
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN202011615743.1
申请日:2020-12-30
申请人: 江苏亚电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种用于硅料的清洗装置及其使用方法,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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公开(公告)号:CN112808685B
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN202011615743.1
申请日:2020-12-30
申请人: 江苏亚电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种用于硅料的清洗装置及其使用方法,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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公开(公告)号:CN112808683A
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN202011613503.8
申请日:2020-12-30
申请人: 江苏亚电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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公开(公告)号:CN112916502A
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN202110179121.7
申请日:2021-02-08
申请人: 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号: B08B3/12 , B08B9/30 , B08B9/36 , B08B9/42 , B08B13/00 , F26B3/04 , F26B15/04 , F26B21/00 , F26B25/00
摘要: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法,包括以下步骤:晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干,完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成,所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成,所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构,从而利用流水线的方式提高了清洗效率,并且保证了烘干效果,利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条,从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转,从而提高清洗效果,并且不会对圆晶存放盒发生损伤,提高工作效率。
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公开(公告)号:CN112916502B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202110179121.7
申请日:2021-02-08
申请人: 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号: B08B3/12 , B08B9/30 , B08B9/36 , B08B9/42 , B08B13/00 , F26B3/04 , F26B15/04 , F26B21/00 , F26B25/00
摘要: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法,包括以下步骤:晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干,完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成,所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成,所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构,从而利用流水线的方式提高了清洗效率,并且保证了烘干效果,利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条,从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转,从而提高清洗效果,并且不会对圆晶存放盒发生损伤,提高工作效率。
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公开(公告)号:CN214956791U
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN202120639564.5
申请日:2021-03-29
申请人: 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号: H01L21/673 , H01L31/18
摘要: 本实用新型涉及一种带有清洗功能的光伏硅片的运输篮,在固定杆上设置喷口,喷口位于光伏硅片之间的间隙处,喷口对准光伏硅片进行喷吹清洗液或者清水或者气体,由于清洗液或者清水或者气体直接喷入间隙处,能够在光伏硅片之间形成有效的液体或者气体流动,提高了成排光伏硅片布置时的清洗效果。
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公开(公告)号:CN212783391U
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN202022138484.X
申请日:2020-09-26
申请人: 江苏亚电科技有限公司
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677
摘要: 本申请涉及一种晶圆顶出分离机构,带有晶圆的晶圆盒放置到滑动座上后,滑动座移动到晶圆承接台上方后,顶出台整体下降,晶圆承接台支撑晶圆并将晶圆从晶圆盒上方顶出,使晶圆被晶圆承接台所承接,从而实现了晶圆与晶圆盒的分离。
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公开(公告)号:CN214262964U
公开(公告)日:2021-09-24
申请号:CN202023292149.1
申请日:2020-12-30
申请人: 江苏亚电科技有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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