一种硅料的清洗方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112808683B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202011613503.8

    申请日:2020-12-30

    发明人: 钱诚 夏振 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

    一种用于硅料的清洗装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN112808685A

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN202011615743.1

    申请日:2020-12-30

    发明人: 钱诚 夏振 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种用于硅料的清洗装置及其使用方法,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

    一种用于硅料的清洗装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN112808685B

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202011615743.1

    申请日:2020-12-30

    发明人: 钱诚 夏振 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种用于硅料的清洗装置及其使用方法,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

    一种硅料的清洗方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112808683A

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN202011613503.8

    申请日:2020-12-30

    发明人: 钱诚 夏振 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

    晶圆存放盒的清洗烘干方法

    公开(公告)号:CN112916502A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202110179121.7

    申请日:2021-02-08

    发明人: 钱诚 李刚 吴清 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法,包括以下步骤:晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干,完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成,所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成,所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构,从而利用流水线的方式提高了清洗效率,并且保证了烘干效果,利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条,从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转,从而提高清洗效果,并且不会对圆晶存放盒发生损伤,提高工作效率。

    晶圆存放盒的清洗烘干方法

    公开(公告)号:CN112916502B

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202110179121.7

    申请日:2021-02-08

    发明人: 钱诚 李刚 吴清 杨洋

    摘要: 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法,包括以下步骤:晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干,完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成,所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成,所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构,从而利用流水线的方式提高了清洗效率,并且保证了烘干效果,利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条,从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转,从而提高清洗效果,并且不会对圆晶存放盒发生损伤,提高工作效率。

    一种带有清洗功能的光伏硅片的运输篮

    公开(公告)号:CN214956791U

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202120639564.5

    申请日:2021-03-29

    发明人: 钱诚 李刚 杨洋

    IPC分类号: H01L21/673 H01L31/18

    摘要: 本实用新型涉及一种带有清洗功能的光伏硅片的运输篮,在固定杆上设置喷口,喷口位于光伏硅片之间的间隙处,喷口对准光伏硅片进行喷吹清洗液或者清水或者气体,由于清洗液或者清水或者气体直接喷入间隙处,能够在光伏硅片之间形成有效的液体或者气体流动,提高了成排光伏硅片布置时的清洗效果。

    一种晶圆顶出分离机构
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212783391U

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN202022138484.X

    申请日:2020-09-26

    发明人: 钱诚 李刚 杨洋

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/677

    摘要: 本申请涉及一种晶圆顶出分离机构,带有晶圆的晶圆盒放置到滑动座上后,滑动座移动到晶圆承接台上方后,顶出台整体下降,晶圆承接台支撑晶圆并将晶圆从晶圆盒上方顶出,使晶圆被晶圆承接台所承接,从而实现了晶圆与晶圆盒的分离。

    一种用于硅料的清洗装置

    公开(公告)号:CN214262964U

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202023292149.1

    申请日:2020-12-30

    发明人: 钱诚 夏振 杨洋

    IPC分类号: B08B3/02 B08B3/06 B08B13/00

    摘要: 本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。