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公开(公告)号：CN106033709B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201510109734.8
申请日：2015-03-13
Applicant: 比亚迪股份有限公司
Abstract: 为克服现有技术中去除晶圆背面原生氧化层的方法工序复杂、碎片率高的问题，本发明提供了一种酸洗蚀刻方法，包括如下步骤；S1、提供一工作台，工作台内部具有工作腔，所述工作台上表面具有连通工作腔的酸洗口；将晶圆置于工作台上，所述晶圆具有原生氧化层的背面朝下，并且覆盖所述酸洗口；所述晶圆待蚀刻的部位位于所述酸洗口内；S2、在所述晶圆背面形成水膜；S3、在所述工作腔内形成氢氟酸酸雾，使所述氢氟酸酸雾溶于所述水膜，通过内部溶解有氢氟酸的水膜对所述晶圆背面进行蚀刻处理。同时，本发明还公开了采用上述酸洗蚀刻方法的清洗机。本发明提供的酸洗蚀刻方法不需要贴膜和剪膜两道工序，简化了工艺流程，提高了生产效率，并且碎片率低。
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公开(公告)号：CN106033709A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510109734.8
申请日：2015-03-13
Applicant: 比亚迪股份有限公司
Abstract: 为克服现有技术中去除晶圆背面原生氧化层的方法工序复杂、碎片率高的问题，本发明提供了一种酸洗蚀刻方法，包括如下步骤；S1、提供一工作台，工作台内部具有工作腔，所述工作台上表面具有连通工作腔的酸洗口；将晶圆置于工作台上，所述晶圆具有原生氧化层的背面朝下，并且覆盖所述酸洗口；所述晶圆待蚀刻的部位位于所述酸洗口内；S2、在所述晶圆背面形成水膜；S3、在所述工作腔内形成氢氟酸酸雾，使所述氢氟酸酸雾溶于所述水膜，通过内部溶解有氢氟酸的水膜对所述晶圆背面进行蚀刻处理。同时，本发明还公开了采用上述酸洗蚀刻方法的清洗机。本发明提供的酸洗蚀刻方法不需要贴膜和剪膜两道工序，简化了工艺流程，提高了生产效率，并且碎片率低。
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公开(公告)号：CN203807556U
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201320837496.9
申请日：2013-12-18
Applicant: 比亚迪股份有限公司
IPC: C23C16/52
Abstract: 为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
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