公开(公告)号：CN202770936U

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201220264047.5

申请日：2012-06-05

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司 ,  中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 刘刚 ,  瞿奇 ,  陈玉立 ,  梁俊娜

IPC: G01R31/01

Abstract: 本实用新型提出一种晶圆允收测试设备，提供多个探针卡托盘，配合不同测试所需要的探针卡，通过机械臂对应的移至测试头下方，使同一晶圆在不同Recipe测试时，避免了打开测试腔体来更换探针卡的操作，使晶圆允收测试过程简单化，提高晶圆允收测试的每小时晶圆吞吐量（WPH），减少晶圆允收测试过程中的污染。

公开(公告)号：CN102006688B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200910194793.4

申请日：2009-08-28

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 任瑞龙 ,  李军 ,  刘刚 ,  凌尧

IPC: H05B3/64

Abstract: 本发明提供了一种加热器及加热炉管，该加热器包括：m根环状电阻丝，相邻的电阻丝间隔一定间距排列；n个固定片，每两根相邻的电阻丝之间具有n/(m-1)个固定片，所述固定片将相邻的两根电阻丝连接在一起，且与同一根电阻丝连接的固定片分别连接电阻丝的不同位置；m和n为自然数，且n＞m≥3，n为m-1的整数倍。该加热器及加热炉管减少了加热器及加热炉管容易出现故障的问题。

公开(公告)号：CN102006688A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200910194793.4

申请日：2009-08-28

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 任瑞龙 ,  李军 ,  刘刚 ,  凌尧

IPC: H05B3/64

Abstract: 本发明提供了一种加热器及加热炉管，该加热器包括：m根环状电阻丝，相邻的电阻丝间隔一定间距排列；n个固定片，每两根相邻的电阻丝之间具有n/(m-1)个固定片，所述固定片将相邻的两根电阻丝连接在一起，且与同一根电阻丝连接的固定片分别连接电阻丝的不同位置；m和n为自然数，且n＞m≥3，n为m-1的整数倍。该加热器及加热炉管减少了加热器及加热炉管容易出现故障的问题。

公开(公告)号：CN104037164A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410287029.2

申请日：2014-06-24

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司

Inventor： 于绍欣 ,  刘刚

IPC: H01L23/544 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明揭示了一种栅耦合效率测试结构及测试方法。所述栅耦合效率测试结构包括：第一测试结构，所述第一测试结构包括形成于衬底上的第一浮栅与第一浮栅上的控制栅；第二测试结构，所述第二测试结构包括形成于衬底上的第二浮栅；所述第一浮栅与第二浮栅结构相同，所述衬底中形成有源漏端。所述测试方法包括：测得第一测试结构的跨导和第二测试结构的跨导，则栅耦合效率＝第二测试结构的跨导/第一测试结构的跨导。利用本发明获得的栅耦合效率数据可靠性高，并且操作简便高效，也能够方便的运用在WAT测试中。

公开(公告)号：CN105097598A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510502587.0

申请日：2015-08-14

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司

Inventor： 刘刚

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/30 ,  H01L22/14

Abstract: 本发明涉及半导体电性检测领域，尤其涉及一种探针卡自动检测装置。本发明提出了一种晶圆探针卡自动检测装置，通过观测平台和移动平台的结合，解决了手动对准探针针尖动作，自动检测探针好坏，使晶圆测试完全自动化，因为实现了全自动化，在测试过程中可以排除人为因素对测试结果造成的影响，防止人为的误操作发生。

公开(公告)号：CN105097598B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201510502587.0

申请日：2015-08-14

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司

Inventor： 刘刚

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明涉及半导体电性检测领域，尤其涉及一种探针卡自动检测装置。本发明提出了一种晶圆探针卡自动检测装置，通过观测平台和移动平台的结合，解决了手动对准探针针尖动作，自动检测探针好坏，使晶圆测试完全自动化，因为实现了全自动化，在测试过程中可以排除人为因素对测试结果造成的影响，防止人为的误操作发生。

公开(公告)号：CN202052736U

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201120123422.X

申请日：2011-04-25

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 刘刚 ,  凌尧 ,  杨志平 ,  于乐

IPC: B08B9/023 ,  H01L21/00

Abstract: 本实用新型公开了一种用于清洗外管的洗管机，其包括旋转轴和左、右挡板条，所述旋转轴带动所述外管转动，所述左、右挡板条设置在所述外管的两端，所述左、右挡板条分别设有摩擦环，所述摩擦环分别和外管的对应端面相接触。本实用新型用于清洗外管的洗管机，通过在左、右挡板条分别增设有与外管的两端面相接触摩擦环，在外管转动时，摩擦环的磨砂表面可以和外管的端面相摩擦，从而可以清除外管端面上的残留物，进而避免在后续的酸洗过程中外管的端面上的残留物阻止或减缓酸液和外管反应，从而使得酸液和外管充分反应将外管清洗干净，确保后续中由外管制成的低压管的性能稳定，提高产品良率，降低了生产成本。

公开(公告)号：CN201530863U

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200920211928.9

申请日：2009-11-05

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 杨志平 ,  崔长祥 ,  凌尧 ,  刘刚

IPC: C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  H01L21/318

Abstract: 本实用新型公开了一种沉积炉管，用于通过SiH2Cl2气体和NH3气体反应在多批次晶圆上沉积作为栅多晶硅的防反射层的SiN薄膜，通过将用于输送NH3气体的第二气体管道的输出管在沉积炉管的内管内延伸至晶舟的顶端，且在输出管的侧壁上形成多个出气孔，从而控制NH3气体以70％～80％的浓度较均匀地分布在晶舟的各个区域，进而使得晶舟装载的所有批次的晶圆上均能有效地沉积SiN薄膜，提高了产量。