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公开(公告)号：CN103575737A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310303081.8
申请日：2013-07-18
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种缺陷检查方法及缺陷检查装置，其课题在于提高缺陷的检测精度。缺陷检查方法包括：照射工序，从光源向被检查物照射可见光和不可见光；数据生成工序，分别接收由被检查物反射或透过被检查物的可见光和不可见光，并根据各受光量分别生成拍摄数据；判定工序，当比较可见光和不可见光下的、在拍摄数据的变动区域的该拍摄数据的变动程度而得的结果属于预先存储的成为缺陷的范围内时，判定为缺陷。
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公开(公告)号：CN116482103A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202211654544.0
申请日：2022-12-22
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 分类条件设定辅助装置具备：基础信息存储部，存储包括拍摄被检查物而取得的与任意缺陷种类相关联的基础拍摄信息和作为与基础拍摄信息分别相关联的缺陷种类的基础缺陷种类的基础信息；分类条件设定部，设定用于将拍摄信息分类为任意缺陷种类的分类条件；基础缺陷种类分类部，按分类条件对基础拍摄信息分类；分类结果确认画面生成部，通过按分类条件对于对象基础拍摄信息分类，生成分类结果确认画面，分类结果确认画面包括作为被分类为规定缺陷种类的对象基础拍摄信息的分类基础拍摄信息的数量、与该分类基础拍摄信息相关联的基础缺陷种类、以及对象基础拍摄信息中的与规定缺陷种类相关联的基础拍摄信息的数量即正确解基础拍摄信息数量；显示部。
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公开(公告)号：CN105973909A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201510731461.0
申请日：2015-11-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01N21/95
Abstract: 本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。
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公开(公告)号：CN104007116B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201410012268.7
申请日：2014-01-10
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 提供以低成本且高速进行能够判别表面缺陷和内层缺陷的缺陷检查装置及方法。缺陷陥检查装置具有：第一照射单元，其向被检查物从一侧照射第一光；第二照射单元，其向被检查物从另一侧照射第二光；拍摄单元，其配置在上述一侧，获取与第一光的反射光及第二光的透过光的强度相对应的拍摄数据；检测单元，其基于由拍摄单元获取的反射光及透过光的强度来检测被检查物的内层缺陷。检测单元将透过光强度大于反射光强度的缺陷判断为内层缺陷。透过光的检测方法能够采用倾斜入射第二光来检测间接透过光的方法和用正交偏振（cross‑nicol）方式检测正透过光的方法。拍摄单元可利用两个照相机，也可通过采用不同颜色的两个光来利用一个彩色照相机。
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公开(公告)号：CN1122454A
公开(公告)日：1996-05-15
申请号：CN95103585.1
申请日：1995-03-24
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G02B27/283 , B60H1/00785 , B60H3/06 , B60H2003/0683 , B60S1/0818 , B60S1/0833 , B60T8/17 , G01N21/21
Abstract: 用简单的结构正确地判别有无物体、表面状态、材质、光散射体等。从发光元件10将投射光向被检测物体1投射，将其反射光(透射光，散射光)入射到偏振光束分离器40上。利用受光元件20接收偏振光束分离器40的反射光，利用受光元件30接收透射光。取它们的受光信号为S，P时，根据S/P，S-P，S-kP，(S-P)/(S+P)等值进行判别。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104914112A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510082816.8
申请日：2015-02-15
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/95
Abstract: 提供一种能够进行片状被检查物所具有的异常部分的检测和异常的种类的判别的片材检查装置。该片材检查装置具有：第一光源，对被检查物的上表面照射可见光；第二光源，对被检查物的上表面照射不可见光；第三光源，对被检查物的下表面照射可见光；第一摄像传感器，配置为能够利用从第一光源照射并在被检查物上反射的可见光，以及，从第三光源照射并透过被检查物的可见光，来拍摄被检查物；第二摄像传感器，配置为能够利用从第二光源照射并在被检查物上反射的不可见光，来拍摄被检查物；处理部，基于利用第一摄像传感器得到的第一图像和利用第二摄像传感器得到的第二图像，来进行异常部分的检测和异常的种类判别。
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公开(公告)号：CN104007116A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410012268.7
申请日：2014-01-10
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 提供以低成本且高速进行能够判别表面缺陷和内层缺陷的缺陷检查装置及方法。缺陷陥检查装置具有：第一照射单元，其向被检查物从一侧照射第一光；第二照射单元，其向被检查物从另一侧照射第二光；拍摄单元，其配置在上述一侧，获取与第一光的反射光及第二光的透过光的强度相对应的拍摄数据；检测单元，其基于由拍摄单元获取的反射光及透过光的强度来检测被检查物的内层缺陷。检测单元将透过光强度大于反射光强度的缺陷判断为内层缺陷。透过光的检测方法能够采用倾斜入射第二光来检测间接透过光的方法和用正交偏振（cross-nicol）方式检测正透过光的方法。拍摄单元可利用两个照相机，也可通过采用不同颜色的两个光来利用一个彩色照相机。
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公开(公告)号：CN1782662A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510129011.0
申请日：2005-11-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01B11/0641 , G01B11/0625 , G01N21/211 , G01N2021/213
Abstract: 本发明提供一种分光计测装置，其实现小型化，由于具备相对于距离抖动、水平方向角度抖动和垂直方向角度抖动的抗耐性，而适于例如半导体制造过程或FPD制造过程等中的在线计测。在上述光电转换部阵列单元之前具有通过透过位置而逐渐使透过光波长变化的光干涉式的分光元件的同时，基于具有检测出来自试料的反射光的偏振光状态的变化的功能的受光侧光学系统、和从上述光电转换部阵列单元的各光电转换部获得的一系列的受光量数据进行偏振光分析，通过实测波形和理论波形的拟合来求取膜厚或膜质。
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公开(公告)号：CN105973909B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201510731461.0
申请日：2015-11-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。
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公开(公告)号：CN107894430A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710822228.2
申请日：2017-09-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/892 , G01N21/894
CPC classification number: G01N21/892 , G01N21/894 , G01N2021/8925
Abstract: 本发明提供一种能够检测片状被检查物中所含异常部位和判别异常种类的技术的片材检查装置。该片材检查装置具有：光源，对被检查物的第1面照射光；摄像传感器，被配置成，能够通过从光源照射并透射过被检查物的光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述摄像传感器所获得的被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由处理部所判别的异常种类的信息，所述光源的光量和/或所述摄像传感器的增益经调整为，在未配置被检查物的状态下从光源直接入射至摄像传感器的光的亮度达到与摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。
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