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公开(公告)号：CN104914112A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510082816.8
申请日：2015-02-15
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/95
Abstract: 提供一种能够进行片状被检查物所具有的异常部分的检测和异常的种类的判别的片材检查装置。该片材检查装置具有：第一光源，对被检查物的上表面照射可见光；第二光源，对被检查物的上表面照射不可见光；第三光源，对被检查物的下表面照射可见光；第一摄像传感器，配置为能够利用从第一光源照射并在被检查物上反射的可见光，以及，从第三光源照射并透过被检查物的可见光，来拍摄被检查物；第二摄像传感器，配置为能够利用从第二光源照射并在被检查物上反射的不可见光，来拍摄被检查物；处理部，基于利用第一摄像传感器得到的第一图像和利用第二摄像传感器得到的第二图像，来进行异常部分的检测和异常的种类判别。
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