公开(公告)号：CN113390334A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110147297.4

申请日：2021-02-03

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 奥田贵启 ,  高嶋润 ,  谷沢元春

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明不会加大景深而能够降低粗糙面的测量误差。光学测量装置包括：光源，输出多个波长的光；第一狭缝构件，形成有使来自光源的光的一部分通过的第一开口；光学系统，用于使通过了第一开口的光沿光轴产生色差；物镜，将产生了色差的光照射至测量对象物；第二狭缝构件，形成有使照射至测量对象物的光的反射光的一部分通过的第二开口；受光用光纤，对通过了第二开口的光进行传播；以及受光传感器，获取经传播的光，对所述光的光谱进行测量，第一开口及第二开口分别具有包含多个针孔的形状。

公开(公告)号：CN1782662A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510129011.0

申请日：2005-11-29

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 高嶋润 ,  江川弘一 ,  村井伟志

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01B11/0641 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

Abstract: 本发明提供一种分光计测装置，其实现小型化，由于具备相对于距离抖动、水平方向角度抖动和垂直方向角度抖动的抗耐性，而适于例如半导体制造过程或FPD制造过程等中的在线计测。在上述光电转换部阵列单元之前具有通过透过位置而逐渐使透过光波长变化的光干涉式的分光元件的同时，基于具有检测出来自试料的反射光的偏振光状态的变化的功能的受光侧光学系统、和从上述光电转换部阵列单元的各光电转换部获得的一系列的受光量数据进行偏振光分析，通过实测波形和理论波形的拟合来求取膜厚或膜质。

公开(公告)号：CN112654832A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201980057877.5

申请日：2019-11-21

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 森野久康 ,  高嶋润

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种测定范围更大的共焦传感器。共焦传感器1包括：光源10，射出多个波长的光；衍射透镜130，相对于光沿光轴方向产生色像差，不经由其他透镜使光聚集于对象物200；针孔120，使光之中、在对象物200上聚焦而反射且经衍射透镜130聚集的反射光通过；测定部40，基于反射光的波长，测定自衍射透镜130至对象物200为止的距离；并且，自针孔120至衍射透镜130为止的距离L2为可变。