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公开(公告)号：CN115808673A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211027257.7
申请日：2022-08-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01S7/4913 , G01S17/32
Abstract: 本发明提供适当地识别各干涉光的峰值并能够高精度地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器(100)具备：波长扫描光源(110)，其一边使波长连续地变化一边投射光；干涉仪(120)，其包括分支部(121)，该分支部使从波长扫描光源投射的光以照射于计测对象物中的多个斑点的方式分支，针对该分支出的各个光，基于照射于该计测对象物并由该计测对象物反射的测定光和至少一部分沿着与该测定光不同的光路的参照光而产生各干涉光；受光部(130)，其接受各干涉光；以及处理部(140)，其使各干涉光中的检测出的峰值与斑点建立对应并计算出至计测对象物为止的距离，针对与多个斑点对应地被分支出的各个光，设定为测定光与参照光之间的光路长度差不同。
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公开(公告)号：CN107063127A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611059428.9
申请日：2016-11-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/245 , G01J3/10 , G01J3/02 , G01J3/28
Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，通过提高光的利用效率，能够实现更高采样率。光学测量装置具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光；分光器，其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光；检测器，其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为，在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。
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公开(公告)号：CN110260784B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201811516896.3
申请日：2018-12-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种进一步提高了测量对象物的位置的检测精度的光学测量装置。本发明的光学测量装置包括：光源(10)，输出多个波长的光；传感头(100)，包括将经由包含多个纤芯的导光部(50)所入射的光转换成平行光的转换透镜(110)、及将产生了色差的光照射于测量对象物(200)的物镜(130)；以及分光器(30)，经由导光部(50)而获取经测量对象物(200)反射并由传感头(100)聚光的反射光，测量反射光的光谱；且传感头(100)中，以抑制从导光部(50)所含的多个纤芯(202)中的一个纤芯出射的光作为反射光而入射至一个纤芯以外的纤芯的方式，在转换透镜(110)与物镜(130)之间配置有遮蔽光的遮蔽物(S)。
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公开(公告)号：CN113390444A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110180753.5
申请日：2021-02-08
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01D5/353
Abstract: 提供一种多通道的光干涉测量装置，其不会导致装置大型化且低成本。由第1测量头接收的第1返回光经由第1光路和光纤耦合器被引导到检测器，由第2测量头接收的第2返回光经由第2光路和光纤耦合器被引导到检测器。从光纤耦合器到第1测量头的末端的光路长度D1、从光纤耦合器到第2测量头的末端的光路长度D2、第1测量头的测量范围的最大光路长度R1max、与第1返回光干涉的第1参照光的光路长度S1、与第2返回光干涉的第2参照光的光路长度S2被设定为满足D1+R1max‑S1
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公开(公告)号：CN107063127B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201611059428.9
申请日：2016-11-25
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/245 , G01J3/10 , G01J3/02 , G01J3/28
Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，通过提高光的利用效率，能够实现更高采样率。光学测量装置具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光；分光器，其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光；检测器，其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为，在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。
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公开(公告)号：CN110672034A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910999860.3
申请日：2017-01-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的一个方面的光学测量装置(1)包括：光源(10)，其产生具有多个波长成分的照射光；传感器头部(30)，其使从光源发出的照射光产生轴向色差，并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象(2)反射的反射光；光接收部(40)，其将由传感器头部接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光；导光部(20)，其将光源(10)、光接收部以及传感器头部光学性地连接；以及处理部(50)，其基于光接收部中的各波长成分的受光量，计算从光学系统到测量对象的距离。处理部将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较，基于该比较结果，判断是否正常测定到所述测量对象的所述距离。
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公开(公告)号：CN107228635B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201710034921.3
申请日：2017-01-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的一个方面的光学测量装置(1)包括：光源(10)，其产生具有多个波长成分的照射光；传感器头部(30)，其使从光源(10)发出的照射光产生轴向色差，并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象(2)反射的反射光；光接收部(40)，其将由传感器头部(30)接收的反射光分离成各波长成分，并接收各波长成分的光；导光部(20)，其将光源(10)、光接收部(40)以及传感器头部(30)光学性地连接；以及处理部(50)，其基于光接收部(40)中的各波长成分的受光量，计算从光学系统到测量对象的距离。处理部(50)将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较，当多个波长成分中的每个波长成分的所述受光量相对于基准值的变化量均为预设的阈值以上时，检测出所述光接收波形的异常。
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