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公开(公告)号：CN107852558A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201780002667.7
申请日：2017-01-27
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供在良好地维持进行声音检测时的频率特性的同时，通过抑制过大的压力作用时的振动电极膜的过度变形而避免振动电极膜破损的技术。声音传感器将声音振动转换成振动电极膜(15)和背板(17)上的固定电极膜之间的静电电容的变化来进行检测，其中，在振动电极膜(15)受到过大的压力而变形时，通过一体设置于背板(17)的凸部(17b)和振动电极膜(15)的相对移动，增大由凸部(17b)和振动电极膜(15)的一部分的间隙形成的空气流路的流路面积，由此释放施加于振动电极膜(15)的压力。
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公开(公告)号：CN104469578B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201410444290.9
申请日：2014-09-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R1/08
CPC classification number: H04R19/04 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/005 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供一种声响转换器及麦克风，通过维持频率特性，且抑制施加了较大的空气压时的振动电极板的位移(变形)，避免静电容量型声响传感器等的应力集中或电极板的破损。基板(22)具有上下贯通的空洞(23)。以覆盖空洞(23)的上面开口的方式在基板(22)的上面配设振动膜(24)。在基板(22)的上面，以覆盖振动膜(24)的方式设置穹顶状的背板(28)。在背板(28)的下面，与振动膜(24)相对地设置固定电极板(29)。在背板(28)及固定电极板(29)上设有多个声孔(31)。在振动膜(24)的中央部设有开口(24a)，在开口(24a)内配置有调整部(25)。调整部(25)利用从背板(28)的下面向下方延伸的支承部(44)被支承。
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公开(公告)号：CN104350767B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380026165.X
申请日：2013-05-22
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H04R23/00 , G01H11/00 , G01R27/2605 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R1/28 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003
Abstract: 一种静电容量型传感器，在硅基板(12)的上方配置隔膜(13)。在基板(12)的上面设置背板(18)，以覆盖隔膜(13)，在背板(18)的下面配置固定电极板(19)。隔膜(13)分割成第一及第二隔膜(13a、13b)。同样地，固定电极板(19)也分割成第一及第二固定电极板(19a、19b)。由第二隔膜(13b)和第二固定电极板(19b)构成的音响传感部中，在背板(18)上开口有孔径较小的声孔(24b)，由第一隔膜(13a)和第一固定电极板(19a)构成的音响传感部中，在背板(18)上开口有孔径较大的声孔(24a)。
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公开(公告)号：CN107852558B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201780002667.7
申请日：2017-01-27
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供在良好地维持进行声音检测时的频率特性的同时，通过抑制过大的压力作用时的振动电极膜的过度变形而避免振动电极膜破损的技术。声音传感器将声音振动转换成振动电极膜(15)和背板(17)上的固定电极膜之间的静电电容的变化来进行检测，其中，在振动电极膜(15)受到过大的压力而变形时，通过一体设置于背板(17)的凸部(17b)和振动电极膜(15)的相对移动，增大由凸部(17b)和振动电极膜(15)的一部分的间隙形成的空气流路的流路面积，由此释放施加于振动电极膜(15)的压力。
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公开(公告)号：CN105744388A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510900818.3
申请日：2015-12-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R1/02
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04S7/00 , H04S2420/01 , H04R1/02 , H04R2201/029
Abstract: 本发明提供一种不受半导体制造技术的制约、不降低灵敏度、噪声性能，而改善耐冲击性能的音响传感器及音响传感器的制造方法。音响传感器将音响振动转换为振动电极膜和固定电极膜之间的静电电容的变化进行检测，其特征在于，固定板通过半导体制造工艺配设，并且其周围的至少一部分以弯曲的形状构成的框壁与半导体基板直接或间接结合，在框壁的内侧的至少一部分上残留在半导体制造工艺中从固定板的内侧去除的牺牲层，并且该残留的牺牲层的内侧表面的凹凸比在半导体制造工艺中通过从多个音孔供给的蚀刻液去除牺牲层的情况下形成的、音孔的外形的相似形连续的音孔形状反映构造的凹凸小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105191352A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201380074451.3
申请日：2013-09-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H04R7/18 , B81B7/0006 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/0307 , B81B2207/07 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2410/03 , H01L2924/00014
Abstract: 在硅基板(22)的上表面，以覆盖硅基板(22)的腔的方式配置有隔膜(24)。在硅基板(22)的上表面设有多个固定构件(27)，隔膜(24)的角部下表面由固定构件(27)支撑。另外，在隔膜(24)的上方，隔着空气间隙设有固定电极板。当从与硅基板(22)的上表面垂直的方向观察时，位于相邻的固定构件(27)之间的隔膜(24)的外缘的全长位于线段(G)的外侧，该线段(G)在远离隔膜(24)的中心侧与相邻的固定构件(27)的边缘外切。另外，在隔膜(24)的固定构件附近，分别开设有一个或者两个以上的通孔(25)。
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公开(公告)号：CN103329575A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201180064105.8
申请日：2011-12-22
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0021 , H04R1/023 , H04R1/086 , H04R3/00 , H04R3/005 , H04R19/005 , H04R19/016 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R2499/11
Abstract: 一种音响转换器及使用该音响转换器的麦克风。音响传感器（11）在半导体基板（21）的上面形成有振动膜（22）及固定膜（23），根据振动膜（22）的振动电极（220）与固定膜（23）的固定电极（230）之间的静电容量的变化，将声波转换成电信号进行输出。音响传感器（11）对振动电极（220）及固定电极（230）中的至少一方进行分割，从被分割后的多个电极分别输出多个电信号。
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公开(公告)号：CN104918194B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201510028224.8
申请日：2015-01-20
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/00
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/005
Abstract: 本发明提供一种能够抑制即使中止电压施加也无法消除吸引状态这样的现象的产生的声响转换器。声响转换器(10)具备：具有固定电极(23)的背板(20)；经由空隙与背板(20)相对的作为可动电极的隔膜(13)；从背板(20)的空隙侧的面突出的多个止挡部(24a、25)，各止挡部包括与固定电极(23)电绝缘的、通过隔膜(13)的变形而可与隔膜(13)的表面接触的导电性部(25)。
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公开(公告)号：CN105191350B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201380074426.5
申请日：2013-09-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/00 , G10K11/002 , H04R1/04 , H04R1/245 , H04R3/002 , H04R3/005 , H04R3/06 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H04R2410/03 , H04R2499/11
Abstract: 在硅基板(12)上开口形成有上下贯通的腔室(15)。在硅基板(12)的上表面以覆盖腔室(15)的上表面开口的方式配设有膜片(13)。膜片(13)由狭缝(17)分割成位于腔室(15)的上方的区域(第一膜片(13a))与位于硅基板(12)的上表面的上方的区域(第二膜片(13b))。在第一膜片(13a)的上方配设有固定电极板(19)，通过第一膜片(13a)与固定电极板(19)形成小音量用的第一声音传感检测部(23a)。另外，通过第二膜片(13b)与硅基板(12)的上表面(导电层(21))形成大音量用的第二声音传感检测部(23b)。
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公开(公告)号：CN104469640B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410444586.0
申请日：2014-09-03
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 内田雄喜
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151
Abstract: 本发明提供一种声响转换器及麦克风，通过维持频率特性，且抑制施加了较大的空气压时的振动电极板(振动膜)的变形，避免应力集中或振动电极板及背板的破损。在具有上下贯通的空洞(35)的基板(32)上配置被开口(33c)分割的第一振动膜(33a)和第二振动膜(33b)。在基板(32)的上面，以覆盖振动膜(33a、33b)的方式设置背板(38)，在其下面与振动膜(33a、33b)相对而设置第一固定电极板(39a)和第二固定电极板(39b)。在背板(38)及固定电极板(29a、29b)上设置多个声孔(44)。在设于振动膜(33a、33b)之间的开口(33c)内收纳泄漏压调整部(37)。泄漏压调整部(37)由从背板(38)的下面向下方延伸的支承部(48)支承。
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