-
-
-
-
-
-
公开(公告)号:CN109791355A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201880003820.2
申请日:2018-04-03
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , C07D221/14
Abstract: 本公开涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物。所述光致产酸剂不仅可以表现出在光致抗蚀剂组合物的溶剂中的高溶解度,而且还可以表现出化学稳定性和热稳定性以及高感光度。具体地,所述光致产酸剂通过光分解而产生酸,同时可以表现出对金属基底的防腐蚀效果。
-
-
-
-
-
-