公开(公告)号：CN110892325B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN201880038114.1

申请日：2018-07-24

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 朴贤旻 ,  林敏映 ,  李泰燮

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其包含碱溶性树脂，所述碱溶性树脂包含含有其中杂环化合物经由包含具有1至20个碳原子的硫化亚烷基的二价官能团取代的基于(甲基)丙烯酸酯的重复单元的基于(甲基)丙烯酸酯的树脂。

公开(公告)号：CN111989354B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202080002300.7

申请日：2020-01-09

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 李泰燮 ,  任允彬 ,  林栽九 ,  林承俊 ,  金世静 ,  金佑翰 ,  朴志珢

IPC: C08G73/14 ,  C08G73/12 ,  C08L79/08 ,  C08F2/50 ,  C08F290/14 ,  C08J5/18

Abstract: 本公开内容涉及其中酰亚胺重复单元和酰胺重复单元中的至少一者经特定官能团取代的聚(酰胺‑酰亚胺)共聚物、包含其的组合物和聚合物膜。

公开(公告)号：CN110325910B

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN201880013367.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  朴贤旻

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度，并且除了作为光致产酸剂的效果之外，还具有抗腐蚀效果。因此，包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。光致产酸剂由以下化学式1表示。在化学式1中，各取代基的限定与说明书的详细描述相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN109791355A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201880003820.2

申请日：2018-04-03

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本公开涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物。所述光致产酸剂不仅可以表现出在光致抗蚀剂组合物的溶剂中的高溶解度，而且还可以表现出化学稳定性和热稳定性以及高感光度。具体地，所述光致产酸剂通过光分解而产生酸，同时可以表现出对金属基底的防腐蚀效果。

公开(公告)号：CN116615474A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202180083837.5

申请日：2021-12-31

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 李泰燮 ,  任允彬 ,  金哈尼 ,  金正坤 ,  诸葛灌 ,  任一秀

IPC: C08F222/10

Abstract: 根据本发明的封装组合物包含具有至少一个或更多个可自由基固化官能团的可自由基固化化合物，并且具有1.8或更小的组合物极化度，其中组合物极化度为通过使各个构成封装组合物的“可自由基固化化合物的化合物极化度”和“相关可自由基固化化合物与封装组合物的重量比”相乘获得的值的总和，化合物极化度可以通过以下一般式1计算。[一般式1]化合物极化度＝(通过将相关可自由基固化化合物的分子结构中包含的碳数与氧数合并获得的值)/(通过从相关可自由基固化化合物的分子结构中的碳数中减去氧数获得的值)。

公开(公告)号：CN109791355B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN201880003820.2

申请日：2018-04-03

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本公开涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物。所述光致产酸剂不仅可以表现出在光致抗蚀剂组合物的溶剂中的高溶解度，而且还可以表现出化学稳定性和热稳定性以及高感光度。具体地，所述光致产酸剂通过光分解而产生酸，同时可以表现出对金属基底的防腐蚀效果。

公开(公告)号：CN113396176A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202080011534.8

申请日：2020-04-09

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 朴志珢 ,  林栽九 ,  任允彬 ,  李泰燮 ,  林承俊 ,  金世静 ,  金佑翰

IPC: C08G73/14 ,  C08G73/10 ,  C08L79/08 ,  C08J5/18

Abstract: 根据本发明的聚酰胺‑酰亚胺嵌段共聚物使得可以提供具有优异的热稳定性和耐化学性且同时具有优异的机械特性的聚酰胺‑酰亚胺膜。

公开(公告)号：CN110325910A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201880013367.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  朴贤旻

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度，并且除了作为光致产酸剂的效果之外，还具有抗腐蚀效果。因此，包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。

公开(公告)号：CN109429511A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201880001512.6

申请日：2018-03-16

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及正性光致抗蚀剂组合物、使用其的光致抗蚀剂图案和用于制造图案的方法，所述正性光致抗蚀剂组合物包含含有特定结构的重复单元的丙烯酸类树脂、和光敏酸产生化合物。

公开(公告)号：CN111989354A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202080002300.7

申请日：2020-01-09

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 李泰燮 ,  任允彬 ,  林栽九 ,  林承俊 ,  金世静 ,  金佑翰 ,  朴志珢

IPC: C08G73/14 ,  C08G73/12 ,  C08L79/08 ,  C08F2/50 ,  C08F290/14 ,  C08J5/18

Abstract: 本公开内容涉及其中酰亚胺重复单元和酰胺重复单元中的至少一者经特定官能团取代的聚(酰胺‑酰亚胺)共聚物、包含其的组合物和聚合物膜。