光致抗蚀剂组合物
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110892325A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201880038114.1

    申请日:2018-07-24

    IPC分类号: G03F7/039 G03F7/20 G03F7/26

    摘要: 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物,其包含碱溶性树脂,所述碱溶性树脂包含含有其中杂环化合物经由包含具有1至20个碳原子的硫化亚烷基的二价官能团取代的基于(甲基)丙烯酸酯的重复单元的基于(甲基)丙烯酸酯的树脂。