背面研磨带
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111433306A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201980006221.0

    申请日:2019-06-04

    Abstract: 本公开内容涉及背面研磨带,包括含有氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂的聚合物树脂层,所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂包含10重量%至40重量%的源自玻璃化转变温度为0℃或更高的(甲基)丙烯酸酯单体或低聚物的重复单元,其中聚合物树脂层的玻璃化转变温度为-30℃至0℃。本公开内容还涉及使用背面研磨带研磨晶片的方法。

    背面研磨带
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111433306B

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN201980006221.0

    申请日:2019-06-04

    Abstract: 本公开内容涉及背面研磨带,包括含有氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂的聚合物树脂层,所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯树脂包含10重量%至40重量%的源自玻璃化转变温度为0℃或更高的(甲基)丙烯酸酯单体或低聚物的重复单元,其中聚合物树脂层的玻璃化转变温度为‑30℃至0℃。本公开内容还涉及使用背面研磨带研磨晶片的方法。

Patent Agency Ranking