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公开(公告)号:CN113138544B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202110023695.5
申请日:2021-01-08
Applicant: 株式会社LG化学
Inventor: 宋贤宇 , 孙成旼 , 韩东一 , 朴泰文 , 李东勋
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂的方法,所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物具有优异的光致抗蚀剂剥离力,并且可以在剥离过程期间抑制下部金属层的腐蚀并有效地除去氧化物。所述剥离剂组合物包含:其中氮经1至2个碳数为1至5的线性或支化烷基取代的酰胺化合物;胺化合物;极性有机溶剂;水合肼;和基于三唑的化合物。
公开(公告)号:CN116149148A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211149997.8
申请日:2022-09-21
Inventor: 孙成旼 , 朴泰文 , 宋贤宇 , 崔容铣
Abstract: 本公开内容涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其的光致抗蚀剂的剥离方法,所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物在对光致抗蚀剂具有优异的剥离力的同时,具有改善的光致抗蚀剂溶解度并且抑制在剥离过程期间对下部金属膜的腐蚀。
公开(公告)号:CN113272342B
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202080008786.5
申请日:2020-10-08
Inventor: 李宰慜 , 金炳伦 , 孙成旼 , 李世恩 , 崔祐硕
IPC: C08F236/12 , C08F220/44 , C08F2/38 , C08F2/24 , C08C1/14
Abstract: 本发明提供一种具有低含量的残留乳化剂并且具有优异的机械物理性能的腈类橡胶的制备方法、由其制备的腈类橡胶和包含所述腈类橡胶的橡胶组合物。
公开(公告)号:CN113272342A
公开(公告)日:2021-08-17
公开(公告)号:CN113138544A
公开(公告)日:2021-07-20