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公开(公告)号：CN102483490A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200980161034.6
申请日：2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/1223 , B82Y20/00 , G02B6/124 , G02B6/136 , G02B2006/12107
Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法，所述平面光波导装置包括芯线，其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部，所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体，所述方法包括：形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤；在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤；通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤；和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。
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公开(公告)号：CN106461986A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480077838.9
申请日：2014-04-07
CPC classification number: G02F1/025 , G02B2006/12097 , G02F1/0018 , G02F1/015 , G02F2001/0151 , G02F2001/212
Abstract: 一种光波导器件(111)包括：衬底(111)；布置在衬底上的下包覆层(112)；脊形波导(100)，包括布置在下包覆层上的平板(115)以及布置在平板上的与平板邻接的单个脊(114)；以及布置在脊形波导上的上包覆层(113)。脊形波导包括：跨脊和平板的具有表现出P型导电性的第一导电性的第一掺杂区(101)；以及跨脊和平板的与第一掺杂区邻接的具有表现出N型导电性的第二导电性的第二掺杂区(102)。第一掺杂区与第二掺杂区之间的边界(103)提供在与衬底的表面垂直的方向上形成的PN结，并且在衬底的平面视图中边界沿着被引导光在脊形波导中的传播方向以波纹线形式(例如曲折)被布置。而且，脊形波导包括第一低导电区和第二低导电区中的至少一个，第一低导电区邻接脊中的与第二掺杂区相反的一侧并表现出比第二掺杂区(106)更低的导电性，第二低导电区(105)邻接脊中的与第一掺杂区相反的一侧并且表现出比第一掺杂区更低的
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公开(公告)号：CN102483490B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200980161034.6
申请日：2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/1223 , B82Y20/00 , G02B6/124 , G02B6/136 , G02B2006/12107
Abstract: 一种制造平面光波导装置的方法，所述平面光波导装置包括芯线，其顶表面设置有沿芯线的纵向的槽部，所述槽部填充有由折射率低于所述芯线的折射率的低折射率材料制成的槽部填充体，所述方法包括：形成构成所述芯线的下部的由高折射率材料制成的高折射率材料层的第一高折射率材料层形成步骤；在所述高折射率材料层上形成由低折射率材料制成的低折射率材料层的低折射率材料层形成步骤；通过利用光刻和蚀刻来修剪所述低折射率材料层的两个侧面部分以形成所述槽部填充体的槽部填充体形成步骤；和形成构成所述芯线的上部的由高折射率材料制成的高折射率材料层以填充所述槽部填充体的侧面部分的两侧的第二高折射率材料层形成步骤。
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公开(公告)号：CN102483491B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980161036.5
申请日：2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/136 , B82Y20/00 , G02B6/1223 , G02B6/124 , G02B2006/12107
Abstract: 一种用于制造平面光波导装置的方法，该平面光波导装置的芯线包括多个交替布置的凸部和凹部以形成光栅结构，在该光栅结构中，凹部的芯线宽度沿纵向方向变化，该方法包括：高折射率材料层形成步骤，形成高折射率材料层；光刻胶层形成步骤，在高折射率材料层上形成光刻胶层；第一曝光步骤，使用相移光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分；第二曝光步骤，使用二元光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分；显影步骤，对光刻胶层进行显影；以及蚀刻步骤，使用从显影步骤得到的光刻胶图案对高折射率材料层进行蚀刻。
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公开(公告)号：CN102483491A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200980161036.5
申请日：2009-08-25
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/136 , B82Y20/00 , G02B6/1223 , G02B6/124 , G02B2006/12107
Abstract: 一种用于制造平面光波导装置的方法，该平面光波导装置的芯线包括多个交替布置的凸部和凹部以形成光栅结构，在该光栅结构中，凹部的芯线宽度沿纵向方向变化，该方法包括：高折射率材料层形成步骤，形成高折射率材料层；光刻胶层形成步骤，在高折射率材料层上形成光刻胶层；第一曝光步骤，使用相移光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分；第二曝光步骤，使用二元光掩模在光刻胶层上形成遮蔽部分；显影步骤，对光刻胶层进行显影；以及蚀刻步骤，使用从显影步骤得到的光刻胶图案对高折射率材料层进行蚀刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105408786B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480035844.8
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: G02B6/126 , G02B6/105 , G02B6/1228 , G02B6/2726 , G02B6/2766 , G02B2006/12038 , G02B2006/12061
Abstract: 本发明涉及高阶偏振波转换元件、光波导元件以及DP－QPSK调制器。高阶偏振波转换元件具备基板、下部包层、在剖面矩形状都具有恒定的高度且由相同的材料形成的上部纤芯(3)以及下部纤芯(4)构成的纤芯(2)、和由与上述下部包层相同的材料形成的上部包层，上述纤芯在开始部(8)和结束部(9)的任意一个中，下部纤芯的宽度和上部纤芯的宽度都相同，从开始部朝向结束部，上部纤芯的宽度以及下部纤芯的宽度中的至少一方连续减少、且上部纤芯的宽度以及下部纤芯的宽度双方都不增加，在开始部中，TE1的有效折射率大于TM0的有效折射率，在结束部中，TM0的有效折射率大于TE1的有效折射率，在除了开始部和结束部之外的、开始部与结束部之间的部分中，上述纤芯具有上部纤芯的宽度与下部纤芯的宽度不同的上下非对称的结构，在开始部的TE1与结束部的TM0之间进行高阶偏振波转换。
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公开(公告)号：CN101952755B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200980106226.7
申请日：2009-02-27
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: G02B6/12007 , G02B6/02085 , G02B6/122 , G02B6/124 , G02B6/29394 , G02B2006/02166 , G02F2001/0151 , G02F2201/063 , G02F2201/307
Abstract: 设定一种基板型光波导元件，其中，光波导的芯具备：内侧芯，具有形成肋结构的凸部；和外侧芯，设置于该内侧芯之上并覆盖上述凸部的周面，外侧芯的折射率低于内侧芯的平均折射率。对于该基板型光波导元件的构造，芯也可以使用硅(Si)和氮化硅(SixNy)等的具有比硅玻璃系材料高的折射率的材料。
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公开(公告)号：CN101952754B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980106220.X
申请日：2009-02-27
Applicant: 株式会社藤仓
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G02B6/124 , G02B6/29325 , G02B6/29394
Abstract: 本发明提供一种基板型光波导元件和波长色散补偿元件及其设计方法。该基板型光波导元件具有光波导的芯、和设在该芯上的第1和第2布拉格光栅图样，上述第1和第2布拉格光栅图样沿着光的波导方向排列。
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公开(公告)号：CN100363784C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200480001470.4
申请日：2004-01-14
Applicant: 株式会社藤仓
IPC: G02F1/01
CPC classification number: G02F1/025 , B82Y20/00 , G02B6/1225 , G02F1/0134 , G02F1/0147 , G02F1/0305 , G02F1/0322 , G02F1/035 , G02F2001/0152 , G02F2202/105 , G02F2202/32 , G02F2203/05 , G02F2203/26 , H04B10/25133
Abstract: 在分散补偿元件(10X)中，设定孔(24)的半径和间隔相互不同的多个区域(I)、(II)，在各个区域(I)、(II)中，通过控制由电极(30A、30B)施加的电压，而可使波长分散补偿的符号和绝对值可变。在使用这种分散补偿元件(10X)而构成的分散补偿系统中，监视从光纤传送路径中取出的光脉冲，并根据该波长分散信息，控制由分散补偿元件(10X)施加的电压施加量，而进行在光纤传送路径中传送的光脉冲的分散补偿。另外，通过施加电压，而使波导的载流子密度可变，来使波导的折射率变化，从而可进行分散补偿。
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公开(公告)号：CN105408786A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201480035844.8
申请日：2014-06-25
Applicant: 株式会社藤仓
CPC classification number: G02B6/126 , G02B6/105 , G02B6/1228 , G02B6/2726 , G02B6/2766 , G02B2006/12038 , G02B2006/12061
Abstract: 本发明涉及高阶偏振波转换元件、光波导元件以及DP－QPSK调制器。高阶偏振波转换元件具备基板、下部包层、在剖面矩形状都具有恒定的高度且由相同的材料形成的上部纤芯(3)以及下部纤芯(4)构成的纤芯(2)、和由与上述下部包层相同的材料形成的上部包层，上述纤芯在开始部(8)和结束部(9)的任意一个中，下部纤芯的宽度和上部纤芯的宽度都相同，从开始部朝向结束部，上部纤芯的宽度以及下部纤芯的宽度中的至少一方连续减少、且上部纤芯的宽度以及下部纤芯的宽度双方都不增加，在开始部中，TE1的有效折射率大于TM0的有效折射率，在结束部中，TM0的有效折射率大于TE1的有效折射率，在除了开始部和结束部之外的、开始部与结束部之间的部分中，上述纤芯具有上部纤芯的宽度与下部纤芯的宽度不同的上下非对称的结构，在开始部的TE1与结束部的TM0之间进行高阶偏振波转换。
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