公开(公告)号：CN106461986A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201480077838.9

申请日：2014-04-07

Applicant: 株式会社藤仓 ,  新加坡科技研究局

Inventor： 小川宪介 ,  五井一宏 ,  卢国强 ,  廖仲扬 ,  屠晓光

IPC: G02F1/025 ,  G02B6/10

CPC classification number: G02F1/025 ,  G02B2006/12097 ,  G02F1/0018 ,  G02F1/015 ,  G02F2001/0151 ,  G02F2001/212

Abstract: 一种光波导器件(111)包括：衬底(111)；布置在衬底上的下包覆层(112)；脊形波导(100)，包括布置在下包覆层上的平板(115)以及布置在平板上的与平板邻接的单个脊(114)；以及布置在脊形波导上的上包覆层(113)。脊形波导包括：跨脊和平板的具有表现出P型导电性的第一导电性的第一掺杂区(101)；以及跨脊和平板的与第一掺杂区邻接的具有表现出N型导电性的第二导电性的第二掺杂区(102)。第一掺杂区与第二掺杂区之间的边界(103)提供在与衬底的表面垂直的方向上形成的PN结，并且在衬底的平面视图中边界沿着被引导光在脊形波导中的传播方向以波纹线形式(例如曲折)被布置。而且，脊形波导包括第一低导电区和第二低导电区中的至少一个，第一低导电区邻接脊中的与第二掺杂区相反的一侧并表现出比第二掺杂区(106)更低的导电性，第二低导电区(105)邻接脊中的与第一掺杂区相反的一侧并且表现出比第一掺杂区更低的