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公开(公告)号：CN101630623B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN200910164111.5
申请日：2004-04-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J37/28 , H01J37/05 , H01L21/66 , G01N23/225
Abstract: 本发明提供一种用于进一步提高SEM方式的检查装置的检查速度、即提高生产率的方式。检查基板的表面的检查装置在电子源(25·1)产生的电子形成交叉后，向试样W的方向以期望的倍率成像来形成交叉。在使该交叉通过时用开口从该交叉中去除作为噪声的电子，将该交叉设为期望的倍率，将该交叉调整为平行的电子束并以期望的断面形状来照射基板。形成电子束，使得此时的电子束的照度不匀在10％以下。从试样W放出的电子由检测器(25·11)来检测。
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公开(公告)号：CN1776413A
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510113505.X
申请日：2005-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01N23/04 , G01N21/892
CPC classification number: G11B7/268 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明公开了一种检查装置，其中电子枪(12)利用电子束照射信息记录介质上的所希望的位置。载物台(18)保持信息记录介质，使得信息记录介质可以沿旋转方向和径向方向移动。检测器(22)通过利用电子束照射信息记录介质，来检测已经获得信息记录介质之表面的信息的电子。图像产生单元(24)根据由检测器(22)检测的电子来获得信息记录介质之表面的图像。检查装置可以检查是否诸如CD和DVD的信息记录介质上存储缺陷，而且可以检查其缺陷的形状。检查装置还可以检查具有大存储容量的信息记录介质。
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公开(公告)号：CN1820346B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200480019519.9
申请日：2004-04-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J37/28 , H01L21/66 , G01N23/225
Abstract: 提供一种用于进一步提高SEM方式的检查装置的检查速度、即提高生产率的方式。检查基板的表面的检查装置在电子源(25·1)产生的电子形成交叉后，向试样W的方向以期望的倍率成像来形成交叉。在使该交叉通过时用开口从该交叉中去除作为噪声的电子，将该交叉设为期望的倍率，将该交叉调整为平行的电子束并以期望的断面形状来照射基板。形成电子束，使得此时的电子束的照度不匀在10％以下。从试样W放出的电子由检测器(25·11)来检测。
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公开(公告)号：CN101630623A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910164111.5
申请日：2004-04-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J37/28 , H01J37/05 , H01L21/66 , G01N23/225
Abstract: 提供一种用于进一步提高SEM方式的检查装置的检查速度、即提高生产率的方式。检查基板的表面的检查装置在电子源(25·1)产生的电子形成交叉后，向试样W的方向以期望的倍率成像来形成交叉。在使该交叉通过时用开口从该交叉中去除作为噪声的电子，将该交叉设为期望的倍率，将该交叉调整为平行的电子束并以期望的断面形状来照射基板。形成电子束，使得此时的电子束的照度不匀在10％以下。从试样W放出的电子由检测器(25·11)来检测。
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公开(公告)号：CN1820346A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200480019519.9
申请日：2004-04-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J37/28 , H01L21/66 , G01N23/225
Abstract: 提供一种用于进一步提高SEM方式的检查装置的检查速度、即提高生产率的方式。检查基板的表面的检查装置在电子源(25·1)产生的电子形成交叉后，向试样W的方向以期望的倍率成像来形成交叉。在使该交叉通过时用开口从该交叉中去除作为噪声的电子，将该交叉设为期望的倍率，将该交叉调整为平行的电子束并以期望的断面形状来照射基板。形成电子束，使得此时的电子束的照度不匀在10％以下。从试样W放出的电子由检测器(25·11)来检测。
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