公开(公告)号：CN108701615B

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN201780014552.X

申请日：2017-02-23

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 角田和之 ,  与仓久则 ,  村田稔

IPC: H01L21/3205 ,  G01L9/00 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L29/84

Abstract: 具备：第1基板(10)，在一面(10a)侧形成有多个连接部(19～21)；第2基板(30)，被与第1基板(10)接合，沿着与第1基板(10)的层叠方向形成有使多个连接部(19～21)分别露出的多个贯通孔(36)；多个贯通电极(38)，配置在多个贯通孔(36)的每一个中，与多个连接部(19～21)分别电连接；以及保护膜(41)，将多个贯通电极(38)一体地覆盖。并且，保护膜(41)形成有当从第1基板(10)的一面(10a)的法线方向观察时将多个贯通孔(36)的开口部分别包围的多个框状的狭缝(41d)；比狭缝(41)靠内缘侧的区域和比狭缝(41)靠外缘侧的区域被狭缝(41)分离。

公开(公告)号：CN108701615A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780014552.X

申请日：2017-02-23

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 角田和之 ,  与仓久则 ,  村田稔

IPC: H01L21/3205 ,  G01L9/00 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L29/84

CPC classification number: H01L23/3192 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0054 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/565 ,  H01L21/768 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/3171 ,  H01L23/481 ,  H01L23/528 ,  H01L23/544 ,  H01L23/60 ,  H01L29/84 ,  H01L2223/54426

Abstract: 具备：第1基板(10)，在一面(10a)侧形成有多个连接部(19～21)；第2基板(30)，被与第1基板(10)接合，沿着与第1基板(10)的层叠方向形成有使多个连接部(19～21)分别露出的多个贯通孔(36)；多个贯通电极(38)，配置在多个贯通孔(36)的每一个中，与多个连接部(19～21)分别电连接；以及保护膜(41)，将多个贯通电极(38)一体地覆盖。并且，保护膜(41)形成有当从第1基板(10)的一面(10a)的法线方向观察时将多个贯通孔(36)的开口部分别包围的多个框状的狭缝(41d)；比狭缝(41)靠内缘侧的区域和比狭缝(41)靠外缘侧的区域被狭缝(41)分离。