具有超结结构的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100487915C

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200510099425.3

    申请日:2005-08-31

    Abstract: 一种半导体器件包括:中心区域(12);周边区域(14,26a,26b);和半导体层(26),它包括多对具有第一杂质量的第一区域(25、25a、25b)和具有第二杂质量的第二区域(27、27a、27b)。第一和第二区域(25、25a、25b、27、27a、27b)在平面内交替排列。周边区域(14、26a、26b)包括最外周边对以及最内周边对(25a、25b、27a、27b)。最外周边对(25b、27b)在第二杂质量和第一杂质量之间具有差值(126b),该差值(126b)小于周边区域(14、26a、26b)中的最大差值(126a)。最内周边对(25a、27a)在第二杂质量和第一杂质量之间具有差值(126a),该差值(126a)大于中心区域(12)中的差值(112)。

    具有超结结构的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1744329A

    公开(公告)日:2006-03-08

    申请号:CN200510099425.3

    申请日:2005-08-31

    Abstract: 一种半导体器件包括:中心区域(12);周边区域(14,26a,26b);和半导体层(26),它包括多对具有第一杂质量的第一区域(25、25a、25b)和具有第二杂质量的第二区域(27、27a、27b)。第一和第二区域(25、25a、25b、27、27a、27b)在平面内交替排列。周边区域(14、26a、26b)包括最外周边对以及最内周边对(25a、25b、27a、27b)。最外周边对(25b、27b)在第二杂质量和第一杂质量之间具有差值(126b),该差值(126b)小于周边区域(14、26a、26b)中的最大差值(126a)。最内周边对(25a、27a)在第二杂质量和第一杂质量之间具有差值(126a),该差值(126a)大于中心区域(12)中的差值(112)。

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