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公开(公告)号：CN102970035B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210419400.7
申请日：2012-07-13
Applicant: 株式会社理光
IPC: H03L7/26
CPC classification number: G04F5/14 , H03L7/26 , Y10T29/49002
Abstract: 公开了一种原子振荡器，包括碱金属单元，将激光束照射至该碱金属单元的光源，以及检测穿过该碱金属单元的光的光检测器。该碱金属单元包括第一元件、第二元件、单元内部以及碱金属原材料。在第一元件中，第一玻璃衬底结合于形成第一开口部分的第一衬底的第二表面。在第二元件中，第二玻璃衬底结合于形成第二开口部分的第二衬底的第四表面。该单元内部通过将第一表面结合至第三表面，由第一开口部分和第二开口部分形成。该碱金属原材料由该单元内部所封装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101663748B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200880009092.2
申请日：2008-03-17
Applicant: 株式会社理光 , 弗朗霍弗应用研究促进协会
CPC classification number: B81C1/00301 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81B2207/098 , B81C2203/019 , H01L23/04 , H01L23/10 , H01L2224/48091 , H01L2924/01079 , H01L2924/1461 , H01L2924/3011 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种功能元件封装，其包括：硅衬底(41a)，该硅衬底具有功能元件，所述功能元件具有活动部分(42)和传感器其中之一；密封元件(43)，该密封元件与所述硅衬底(41a)相结合，以气密密封所述功能元件并在其中形成气密密封的空间(43a)，且所述密封元件在其高度方向上包括台阶部分(43c)；第一布线部分(44)，该第一布线部分与所述功能元件相连接并且从所述气密密封的空间(43c)延伸到其外侧；第二布线部分(46)，该第二布线部分(46)与所述第一布线部分(44)不同，且从所述台阶部分(43c)延伸到所述密封元件(43)的上表面(43’)；以及凸块(48)，该凸块处于所述密封元件(43)的上表面上的第二布线部分(46)上，其中，在外侧延伸的所述第一布线部分(44)朝向所述气密密封的空间(43a)弯曲，并且经由光敏元件与所述台阶部分(43c)上的第二布线部分(46)相连接。
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公开(公告)号：CN104003347A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410059957.3
申请日：2014-02-21
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: B81C1/00301 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81B2201/047 , B81B2207/095 , B81C2203/031 , B81C2203/0707 , H01L24/03 , H01L24/09 , H01L2924/1461 , H01L2924/15788 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及半导体器件和制造器件的方法。一种器件包括：第一衬底，功能性元件和电极在其中形成；第二衬底，贯通电极在其中形成；接合材料，其接合所述第一衬底和所述第二衬底，并在所述功能性元件和所述第二衬底之间保留预定空间；和导电材料，其将所述电极电连接到所述贯通电极。在此，所述接合材料比所述导电材料更硬，并且在电学上，所述接合材料比所述导电材料导电性更弱。
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公开(公告)号：CN101663748A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200880009092.2
申请日：2008-03-17
Applicant: 株式会社理光 , 弗朗霍弗应用研究促进协会
CPC classification number: B81C1/00301 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81B2207/098 , B81C2203/019 , H01L23/04 , H01L23/10 , H01L2224/48091 , H01L2924/01079 , H01L2924/1461 , H01L2924/3011 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种功能元件封装，其包括：硅衬底(41a)，该硅衬底具有功能元件，所述功能元件具有活动部分(42)和传感器其中之一；密封元件(43)，该密封元件与所述硅衬底(41a)相结合，以气密密封所述功能元件并在其中形成气密密封的空间(43a)，且所述密封元件在其高度方向上包括台阶部分(43c)；第一布线部分(44)，该第一布线部分与所述功能元件相连接并且从所述气密密封的空间(43c)延伸到其外侧；第二布线部分(46)，该第二布线部分(46)与所述第一布线部分(44)不同，且从所述台阶部分(43c)延伸到所述密封元件(43)的上表面(43’)；以及凸块(48)，该凸块处于所述密封元件(43)的上表面上的第二布线部分(46)上，其中，在外侧延伸的所述第一布线部分(44)朝向所述气密密封的空间(43a)弯曲，并且经由光敏元件与所述台阶部分(43c)上的第二布线部分(46)相连接。
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公开(公告)号：CN102970035A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210419400.7
申请日：2012-07-13
Applicant: 株式会社理光
IPC: H03L7/26
CPC classification number: G04F5/14 , H03L7/26 , Y10T29/49002
Abstract: 公开了一种原子振荡器，包括碱金属单元，将激光束照射至该碱金属单元的光源，以及检测穿过该碱金属单元的光的光检测器。该碱金属单元包括第一元件、第二元件、单元内部以及碱金属原材料。在第一元件中，第一玻璃衬底结合于形成第一开口部分的第一衬底的第二表面。在第二元件中，第二玻璃衬底结合于形成第二开口部分的第二衬底的第四表面。该单元内部通过将第一表面结合至第三表面，由第一开口部分和第二开口部分形成。该碱金属原材料由该单元内部所封装。
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