公开(公告)号：CN118157615A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202311674518.9

申请日：2023-12-07

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 道格拉斯·雅乔夫斯基 ,  帕特里克·特纳 ,  克里斯·奥布莱恩

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17 ,  H03H9/25 ,  H03H9/58 ,  H03H9/56 ,  H03H9/64 ,  H03H3/02 ,  H03H3/08

Abstract: 提供了一种声学谐振器，该声学谐振器包括：衬底；第一压电层，具有彼此相对的第一表面和第二表面，其中，第二表面直接或经由一个或多个中间层耦接到衬底；第二压电层，具有相对的第一表面和第二表面，其中，第一表面耦接到第一压电层的第一表面并且与衬底相对；蚀刻停止层，设置在第一压电层和第二压电层各自的第一表面之间；以及第一叉指换能器(IDT)和第二IDT，分别在第一压电层和第二压电层中的至少一个压电层上。此外，第一压电层和第二压电层之一的一部分在相应压电层的第二表面与蚀刻停止层之间被去除。

公开(公告)号：CN116260418A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211585923.9

申请日：2022-12-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 格雷格·戴尔 ,  陆振华 ,  道格拉斯·雅乔夫斯基 ,  布莱恩特·加西亚

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13

Abstract: 声波谐振器具有压电板，该压电板具有第一表面和第二表面，第二表面面对基板，并且压电板的振膜跨越空腔。导体图案形成在第一表面和第二表面中的至少一个表面上并且具有叉指换能器(IDT)，该叉指换能器在压电板的振膜部分上具有交错指。交错IDT指的间距或交错IDT指的标记中的至少一个在IDT的区域上变化，以补偿压电板的振膜部分由于工艺引起的变形。