公开(公告)号：CN116260418A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211585923.9

申请日：2022-12-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 格雷格·戴尔 ,  陆振华 ,  道格拉斯·雅乔夫斯基 ,  布莱恩特·加西亚

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13

Abstract: 声波谐振器具有压电板，该压电板具有第一表面和第二表面，第二表面面对基板，并且压电板的振膜跨越空腔。导体图案形成在第一表面和第二表面中的至少一个表面上并且具有叉指换能器(IDT)，该叉指换能器在压电板的振膜部分上具有交错指。交错IDT指的间距或交错IDT指的标记中的至少一个在IDT的区域上变化，以补偿压电板的振膜部分由于工艺引起的变形。

公开(公告)号：CN116800220A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310286383.2

申请日：2023-03-21

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 约翰·P·库拉基斯 ,  陆振华

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58 ,  H03H3/02

Abstract: 一种声学谐振器装置包括：基板，具有表面；82Y切铌酸锂压电板，除了压电板的形成跨越基板的中间介电层中的空腔的振膜的部分之外，附接到基板的表面；叉指换能器(IDT)，在压电板处，使得IDT的交错指在振膜处；以及多个介电材料条，延伸越过交错指的端部以及在交错指的端部与IDT的相对母线之间的间隙的部分。