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发明公开
具有多种膜片厚度的横向激发薄膜体声学谐振器和制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN117882296A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202280053854.9

申请日：2022-07-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 克里斯·奥布莱恩 , 安德鲁·凯 , 阿尔伯特·卡多纳 , 温切斯拉夫·扬捷切夫 , 帕特里克·特纳 , 罗伯特·B·哈蒙德 , 迪伦·凯利

IPC: H03H9/54 , H03H9/205

Abstract: 公开了制造滤波器设备的方法。将具有第一厚度的压电板的背表面附接到基板。选择性地蚀刻压电板的前表面，以将压电板的一部分从第一厚度减薄至小于第一厚度的第二厚度。在基板中形成空腔，使得压电板的多个部分形成跨越相应空腔的多个膜片。在前表面上形成导体图案。该导体图案包括：第一叉指换能器(IDT)，在具有第一厚度的第一膜片上具有交织的指状物；以及第二IDT，在具有第二厚度的第二膜片上具有交织的指状物。

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