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公开(公告)号：CN105474539B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201480045825.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/107 , H01L23/10 , H01L41/29 , H01L2224/11 , H01L2924/0002 , H03H3/08 , H03H9/059 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制在切割时供电线从压电基板剥离，并抑制密闭空间的密闭性降低的声表面波设备及其制造方法。在压电基板的主面(11a)，形成导电图案，该导电图案包含：声表面波元件图案、焊盘、和与焊盘电连接并延伸到主面(11a)的外周缘(11x)的供电线(18j)。隔着支撑层，压电基板与外罩接合，形成被压电基板、外罩以及框部(32)包围的密闭空间，其中，该支撑层包含；沿着主面(11a)的外周缘(11x)并与外周缘(11x)之间设有间隔地形成为框状的框部(32)、和形成在焊盘上的焊盘邻接部。支撑层在框部(32)之中的从焊盘邻接部分离的独立部分与供电线(18j)交叉的交叉部分(32x)的附近，还包含与供电线(18j)交叉的加强部(36)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101902211B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201010193384.5
申请日：2010-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/6436 , H03H9/0071 , H03H9/0222 , H03H9/14582
Abstract: 本发明的弹性波装置可抑制横向模式的纹波，改善滤波器通带内的特性，并可提高滤波器通带的低频带侧的频率特性。一种纵耦合谐振器型的弹性波装置，具有：在压电体上配置的第一至第三梳齿状电极、和在弹性波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；在弹性波传播方向的梳齿状电极彼此相邻的部分设置有窄间距电极指部；其中，具有上述窄间距电极指部的上述第一至第三梳齿状电极的大部分进行切趾加权，窄间距电极指部及与窄间距电极指相邻的电极指部分成为标准型的梳齿状电极。
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公开(公告)号：CN113474995B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202080015449.9
申请日：2020-03-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)及反射器(13A、13B)。IDT电极(3)具有：沿着第一方向(x)(弹性波传播方向)设置有第一、第二开口部(4d、6d)的第一、第二汇流条(4、6)；第一、第二边缘区域(Ca、Cb)；和第一、第二间隙区域(Da、Db)。由第一、第二边缘区域(Ca、Cb)构成低声速区域，由设置有第一、第二开口部(4d、6d)的区域构成高声速区域。反射器(13A)具有第一、第二反射器汇流条(14A、16A)和第二端部(15a)与第二反射器汇流条(16A)对置的第一反射电极指(15A)，在从第一方向(x)观察时，第一反射电极指(15A)与第二间隙区域(Db)的全部重叠。
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公开(公告)号：CN113474995A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202080015449.9
申请日：2020-03-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够在不伴随阻抗特性等的劣化的情况下难以产生反射器的抗蚀剂的残渣。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)及反射器(13A、13B)。IDT电极(3)具有：沿着第一方向(x)(弹性波传播方向)设置有第一、第二开口部(4d、6d)的第一、第二汇流条(4、6)；第一、第二边缘区域(Ca、Cb)；和第一、第二间隙区域(Da、Db)。由第一、第二边缘区域(Ca、Cb)构成低声速区域，由设置有第一、第二开口部(4d、6d)的区域构成高声速区域。反射器(13A)具有第一、第二反射器汇流条(14A、16A)和第二端部(15a)与第二反射器汇流条(16A)对置的第一反射电极指(15A)，在从第一方向(x)观察时，第一反射电极指(15A)与第二间隙区域(Db)的全部重叠。
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公开(公告)号：CN105474539A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480045825.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/107 , H01L23/10 , H01L41/29 , H01L2224/11 , H01L2924/0002 , H03H3/08 , H03H9/059 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制在切割时供电线从压电基板剥离，并抑制密闭空间的密闭性降低的声表面波设备及其制造方法。在压电基板的主面(11a)，形成导电图案，该导电图案包含：声表面波元件图案、焊盘、和与焊盘电连接并延伸到主面(11a)的外周缘(11x)的供电线(18j)。隔着支撑层，压电基板与外罩接合，形成被压电基板、外罩以及框部(32)包围的密闭空间，其中，该支撑层包含；沿着主面(11a)的外周缘(11x)并与外周缘(11x)之间设有间隔地形成为框状的框部(32)、和形成在焊盘上的焊盘邻接部。支撑层在框部(32)之中的从焊盘邻接部分离的独立部分与供电线(18j)交叉的交叉部分(32x)的附近，还包含与供电线(18j)交叉的加强部(36)。
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公开(公告)号：CN101902211A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010193384.5
申请日：2010-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/6436 , H03H9/0071 , H03H9/0222 , H03H9/14582
Abstract: 本发明的弹性波装置可抑制横向模式的纹波，改善滤波器通带内的特性，并可提高滤波器通带的低频带侧的频率特性。一种纵耦合谐振器型的弹性波装置，具有：在压电体上配置的第一至第三梳齿状电极、和在弹性波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；在弹性波传播方向的梳齿状电极彼此相邻的部分设置有窄间距电极指部；其中，具有上述窄间距电极指部的上述第一至第三梳齿状电极的大部分进行切趾加权，窄间距电极指部及与窄间距电极指相邻的电极指部分成为标准型的梳齿状电极。
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