公开(公告)号：CN110268089A

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201780085863.5

申请日：2017-10-30

Applicant: 株式会社日本显示器

Inventor： 小野敬亮 ,  武田笃 ,  山田哲行 ,  成谷元嗣 ,  为川贡 ,  大河原健 ,  平坂直人 ,  渡边大树

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明的目的是在使用掩模进行的成膜中实现高精度的图案成膜。本发明提供一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承上述掩模主体的框部；和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件，其具有与上述掩模框架对应的形状，上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合，上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。

公开(公告)号：CN116970900A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310406122.X

申请日：2023-04-17

Applicant: 株式会社日本显示器

Inventor： 山田哲行 ,  为川贡 ,  柳泽昌 ,  岩桥直哉

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的一个目的是提供破损少的蒸镀掩模，蒸镀掩模具有：薄膜状的掩模主体；设置在掩模主体的周围的保持框；和连接掩模主体与保持框的连接部件，掩模主体包括：具有第1图案部的第1区域、包围第1区域且具有第2图案部的第2区域；和包围第2区域的第3区域，第1区域和第2区域配置在基准框内。另外，蒸镀掩模的掩模主体的第1区域与第2图案部隔开间隔，此外，蒸镀掩模中，第2区域外接于掩模主体的第1区域的外形。

公开(公告)号：CN110741105A

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：CN201880039459.9

申请日：2018-03-29

Applicant: 株式会社日本显示器

Inventor： 观田康克 ,  大河原健 ,  为川贡

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 蒸镀掩模包括框架和被所述框架保持的金属膜，所述金属膜具有第一开口部和配置在所述第一开口部的周围的多个第二开口部，所述第二开口部的最大宽度小于所述第一开口部的最大宽度。所述多个第二开口部沿着所述第一开口部的轮廓配置。第一开口部的轮廓可以为圆形。