公开(公告)号：CN120072722A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411666422.2

申请日：2024-11-20

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 佐藤卓也 ,  髙山祐一 ,  河原启之

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种衬底搬送装置、衬底处理装置及检查方法。本发明具备：取得用手部(11a)，具备：引导部件(32a)，设置于基部件的上表面，供衬底(W)的周缘抵接；传感器(22a)，检测抵接于引导部件(32a)的衬底(W)；引导部件(34a)，设置于基部件(31)的上表面，供衬底(W)的周缘抵接；及传感器(26a)，检测抵接于引导部件(34a)的衬底(W)；以及比较部(41)，基于传感器(22a)检测衬底(W)的时序、与传感器(26a)检测衬底(W)的时序的差异，判定取得用手部(11a)相对于衬底(W)的倾斜状态。

公开(公告)号：CN111952229B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202010406628.7

申请日：2020-05-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  桥本光治 ,  菊本宪幸 ,  墨周武

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 提供一种基板处理装置，在腔室间搬送经覆液的基板的基板处理装置中，能够切实地防止液体的飞散，并且实现腔室间的基板搬送。基板处理装置包括：底座部(1541)，与腔室邻接地配置；机械手(155)，保持基板(S)；机械臂(1542)，被安装在底座部(1541)，支撑机械手并使其相对于底座部而水平移动，由此来使机械手进退移动；以及罩部(156)，在内部空间收容机械手。罩部具有：罩本体(1561)，形成内部空间；以及延伸构件(1562)，具有沿水平方向贯通且其中一端成为开口(1562a)的中空结构，在使开口连通于内部空间且能够沿水平方向移动的状态下，卡合于罩本体。

公开(公告)号：CN114068374A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110862380.X

申请日：2021-07-29

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  菊本宪幸

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置(1)具备第1搬送部(6a)及第2搬送部(6b)。第2搬送部(6b)设置在第1搬送部(6a)的下方。第1搬送部(6a)具有第1搬送空间(61a)、第1搬送FFU(11、12)及第1地板部(71)。第1搬送FFU(11、12)设置在第1搬送空间(61a)的上方。第1地板部(71)具有多个第1通过孔。第1地板部(71)设置在第1搬送空间(61a)的下方。第2搬送部(6b)具有第2搬送空间(61b)、第2搬送FFU(13、14)、第2地板部(72)及排气风扇(73)。第2搬送FFU(13、14)设置在第1地板部(71)的下方。第2地板部(72)具有多个第2通过孔。第2地板部(72)设置在第2搬送空间(61b)的下方。排气风扇(73)设置在第2地板部(72)的下方。

公开(公告)号：CN119673836A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411175630.2

申请日：2024-08-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  太田乔 ,  佐藤卓也 ,  北村藤和

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置。基板搬送装置能够隔开间隙地层叠并收容多张基板，且与在一侧面具有搬入搬出口的载体之间搬送所述基板，所述装置包括以下的要素。搬送部，其具有保持所述基板的保持手，通过使所述保持手从所述载体的所述搬入搬出口相对于所述基板间的间隙进退来搬送所述基板；获取部，其在所述载体收容有所述基板的状态下，获取在所述保持手的进退方向上从所述载体的搬入搬出口侧观察所述基板时的、所述基板的形状信息；以及基于所述形状信息控制所述搬送部的控制部，所述获取部通过从所述保持手的进退方向照射波长范围比可视光长的光而得到所述基板的形状信息。

公开(公告)号：CN112509955B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202010959341.7

申请日：2020-09-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 菊本宪幸 ,  内田雄三 ,  河原启之

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种对基板进行清洗处理的基板处理装置，处理部的上部和下部分别具有多个处理单元。处理部具备至少一个塔单元，所述塔单元中，所述上部具有至少一个正面清洗单元和至少一个反面清洗单元，所述下部具有至少一个正面清洗单元和至少一个反面清洗单元。搬运部在所述上部和所述下部分别具有中心机器人。

公开(公告)号：CN109155247B

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN201780026979.1

申请日：2017-05-18

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 林昌之 ,  远藤亨 ,  河原启之 ,  岩田敬次 ,  根来世

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027

Abstract: 基板处理装置包括：处理腔室；基板保持单元，配置在所述处理腔室内，用于保持基板；第一喷嘴，具有用于朝被所述基板保持单元保持的基板的主面喷出流体的喷出口。在基板处理装置中执行：第一处理步骤，将第一药剂流体从所述第一喷嘴朝所述基板的主面喷出，对所述基板实施使用了所述第一药剂流体的处理；第二处理步骤，将第二药剂流体供给至所述基板的主面，对所述基板实施使用了所述第二药剂流体的处理；以及水置换步骤，在所述第一处理步骤执行前及/或执行后，以及/或者，在所述第二处理步骤的执行前及/或执行后，将来自所述第一水供给单元的水供给至所述药剂流体配管，并以水置换所述药剂流体配管的内部。

公开(公告)号：CN120072726A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411716379.6

申请日：2024-11-27

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  太田乔 ,  岩尾通矩 ,  佐藤卓也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本申请提供一种能够抑制因搬送时的位置修正引起的生产能力下降的基板搬送装置。在利用第一手部(33)保持基板(W)时，利用所有引导部(67)把持基板的外周面，基于在该时间点得到的位置信息，算出保持的基板的中心位置来作为当前中心位置(CPN)。控制部算出事先设定的第一手部上的基板的基准中心位置(CPR)与当前中心位置的差值(DF)。在交接基板W时，根据差值来操作水平驱动机构(57)，修正使第一手部进出的位置。因此，在利用第一手部保持了基板的时间点，能够算出在基板交接时位置的修正所需的差值。其结果为，能够因搬送时的位置修正引起的生产能力下降。

公开(公告)号：CN120072725A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411700094.3

申请日：2024-11-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 佐藤卓也 ,  河原启之 ,  太田乔 ,  岩尾通矩

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板搬送装置、基板处理装置及示教方法。根据本发明，夹持基板(W)的外周面的三个可动引导件(67)设于转位模块(5)的第1手部(19)。第1手部(19)在设为基板(W)处于初始的设定位置而使第1手部(19)与基板(W)接近后，使可动引导件(67)与基板(W)抵接。基于各可动引导件(67)与基板(W)抵接时的各可动引导件(67)的位置关系，计算出基板(W)的中心点的位置，该中心点的位置作为新的设定位置被存储于存储部。

公开(公告)号：CN120072724A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411686194.5

申请日：2024-11-22

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  髙山祐一 ,  佐藤卓也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的目的在于提供一种衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置，能效率良好地搬送衬底。在搬送衬底的衬底搬送装置中，具备：手部，将衬底保持为水平姿势；水平驱动机构，为了交接衬底而将所述手部在水平面内进退驱动；至少2个引导件，设置于所述手部，夹持衬底的外周面使所述衬底与所述手部分开并保持；进退驱动机构，使所述至少2个引导件中，至少1个引导件作为可动引导件相对于所述衬底进退驱动；取得部，取得表示所述引导件夹持衬底的所述外周面的所述水平面内的位置的夹持位置信息；及控制部，基于所取得的所述夹持位置信息判定所述引导件的消耗程度。

公开(公告)号：CN120072723A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411679332.7

申请日：2024-11-22

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 河原启之 ,  太田乔 ,  佐藤卓也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的目的在于提供一种衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置，能效率良好地处理衬底。在搬送衬底的衬底搬送装置中，具备：手部，将所述衬底保持为水平姿势；水平驱动机构，为了交接所述衬底而将所述手部在水平面内进退驱动；至少2个引导件，设置于所述手部，夹持所述衬底的外周面使所述衬底与所述手部分开并保持；及进退驱动机构，使所述至少2个引导件中，至少1个引导件作为可动引导件相对于所述衬底进退驱动；且所述手部关于保持所述衬底的所述手部的方式，具备如下2种方式：上取，在所述手部位于比所述衬底靠上方，且所述手部与所述衬底分开的状态下，所述引导件夹持所述衬底的外周面；及下取，在所述手部位于比所述衬底靠下方，且所述手部与所述衬底分开的状态下，所述引导件夹持所述衬底的外周面。