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公开(公告)号：CN115003418B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202180010123.1
申请日：2021-01-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B05B5/057 , B05B5/08 , B05B12/00 , B05B13/02 , H01L21/027
Abstract: 一种成膜装置，其将包含微粒的雾供给至基板，在基板的表面形成包含微粒的膜，该成膜装置具备：覆盖基板的表面的至少一部分的导风部件；以及将雾供给至基板的表面与导风部件之间的空间的雾供给部。雾供给部包括使雾带正电或带负电的带电赋予部；以及将通过带电赋予部而带电的雾向空间内喷出的雾喷出部。导风部件具有与基板的表面对置的壁面，包括使壁面产生与通过带电赋予部带电的雾相同符号的电位的静电场发生部。
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公开(公告)号：CN108778527B
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN201780016625.9
申请日：2017-03-07
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B05B17/06 , B05D1/02 , B05D1/06 , B05D1/32 , B05D3/10 , B05D5/12 , B05D7/24 , G03F7/20 , H01B13/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明的产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的雾气产生装置(MG1)包含：容器(30a)，其保持包含微粒子(NP)的分散液(DIL)；第1振动部(32a)，其通过对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予第1频率的振动，而抑制微粒子(NP)于分散液(DIL)中的凝集；以及第2振动部(34a)，其对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予高于第1频率、且用以自分散液(DIL)的表面产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的第2频率的振动。
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公开(公告)号：CN106605294B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201580045821.X
申请日：2015-08-24
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L27/12 , H01L29/786 , H01L51/50 , H05B33/10
Abstract: 能减轻电子元件制造业者的负担，且制造高精度电子元件。将构成电子元件的至少一部分积层构造体形成于转印基板即第1基板上后，将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)上的元件制造方法，具备：第1步骤，藉由于第1基板(P1)上形成第1导电层(52a)，于第1导电层(52a)上形成功能层(52b)，于功能层(52b)上形成第2导电层(52c)，以形成积层构造体(52)；以及第2步骤，以第2导电层(52c)位于第2基板(P2)侧的方式使第1基板(P1)与第2基板(P2)暂时紧贴，以将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)。
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公开(公告)号：CN109314146B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN201780036095.4
申请日：2017-07-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L29/786 , G01N27/414
Abstract: 本发明提供一种半导体装置，其特征在于，该半导体装置具有第1电极、第2电极、以及与第1电极和第2电极相接的半导体层，半导体层为包含锌(Zn)和镓(Ga)的尖晶石型的氧化物。
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公开(公告)号：CN112752616A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201980063513.8
申请日：2019-07-18
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 西康孝
IPC: B05B17/04 , B05C9/10 , B05D1/02 , B05D3/06 , C23C16/448 , C23C16/455 , C23C24/08 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 一种雾发生装置，为了在被处理物(P)的表面堆积由材料物质构成的层，将包含含有材料物质的微粒或分子的溶液的雾(Mst)的载气(CGS)喷雾至被处理物(P)的表面。雾发生装置具备：雾发生部(14)，将溶液雾化，送出包含雾(Mst)的载气(CGS)；以及紫外线照射部(20B)，在直至来自雾发生部(14)的载气(CGS)被喷雾至被处理物(P)的表面为止的流路中，对通过载气(CGS)而悬浮的雾(Mst)照射波长400nm以下的紫外线光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105555424A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480052051.7
申请日：2014-10-22
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明目的在于提供一种代替现有技术的新方法作为得到薄膜的技术。本发明的薄膜的制造方法的特征在于，其具有：使含有微粒的分散液雾化的雾化工序；将经雾化的所述分散液供给至基板的供给工序；使供给至所述基板上的所述分散液干燥的干燥工序。
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公开(公告)号：CN117983435A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410226888.4
申请日：2021-01-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B05B5/057 , B05B5/08 , B05B13/02 , B05B16/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供成膜装置、成膜方法、导电膜的制造装置和制造方法。成膜装置是将含有微粒的雾供给至基板，在基板的表面形成包含所述微粒的膜的成膜装置，所述成膜装置具备：雾发生部，其将含有所述微粒的液体雾化，产生所述雾；雾供给部，其将所述雾供给至所述基板；调温部，其使所述雾的温度成为第1温度；以及基板调温部，其使所述基板的温度成为第2温度，所述基板调温部将所述第2温度设定为比所述第1温度低的温度。
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公开(公告)号：CN110085370B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201910312665.9
申请日：2014-10-22
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明目的在于提供一种薄膜的制造方法，其代替现有技术的薄膜制造技术。本发明的薄膜的制造方法的特征在于，其包括：在所述成膜装置的第1槽中使含有微粒的分散液雾化的工序；将经雾化的分散液沿第1方向供给至第2槽顶部的入口中，并沿与第1方向相反的第2方向从第2槽顶部的出口排出经雾化的分散液，从而将经雾化的分散液经由所述成膜装置的第2槽搬送至第3槽的工序；将经雾化的所述分散液供给至第3槽中的基板上的工序；和使供给至所述基板上的所述分散液干燥的工序。
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公开(公告)号：CN105408244A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201480042219.6
申请日：2014-06-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: C01B13/32 , C01F7/30 , C01G9/02 , H01L21/283 , H01L21/288 , H01L21/316 , H01L21/768 , H01L23/532
CPC classification number: H01L21/02178 , C01F7/02 , C23C18/1216 , C23C18/125 , H01L21/02172 , H01L21/02205 , H01L21/02282 , H01L21/02323 , H01L21/02334 , H01L21/02337 , H01L21/28008 , H01L21/28158 , H01L21/311 , H01L29/4908 , H01L29/517 , H01L29/66477
Abstract: 本发明目的在于提供一种有效得到密合性良好的金属氧化物膜的技术。本发明中的金属氧化物膜的制造方法特征在于，其具备：将含有有机金属络合物的溶液涂布于基板上的涂布工序；将得到的涂膜暴露于臭氧的臭氧暴露工序；对所述涂膜进行加热的加热工序。
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公开(公告)号：CN119387064A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411591806.2
申请日：2021-01-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B05B5/057 , B05B5/08 , B05B12/00 , B05B13/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供成膜装置、成膜方法和导电膜的制造装置。成膜装置是将包含微粒的雾供给至基板，在所述基板的表面形成包含所述微粒的膜的成膜装置，其中，所述成膜装置具备：导体，其设置为与所述基板的表面分离；雾供给部，其将所述雾供给至所述基板的表面；输送部，其输送所述基板；以及交流电场发生部，其对所述导体和所述输送部中的至少一方施加交流电压。
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