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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1642849A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03807301.3
申请日：2003-03-26
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/3566 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/0833 , G02B26/0841
Abstract: 活动部分由具有悬臂结构的桥接部分13构成，悬臂结构的固定端经腿部12固定。桥接部分13有两个串联连接在固定端和自由端之间的桥接构件14和15。固定端一侧上的桥接构件14为板簧部分。自由端一侧上的桥接构件15为一种拥有刚性的刚性部分。桥接构件14在桥接部分13不受力的状态下向与衬底11相反的一侧弯曲。反射镜2设置在桥接构件15的自由端一侧上。结果，可以获得能以较小的驱动力操纵的微致动器。
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公开(公告)号：CN1555339A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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公开(公告)号：CN1268537C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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公开(公告)号：CN1671617A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN03818473.7
申请日：2003-07-31
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 石津谷徹
CPC classification number: B81B3/0072 , B81C2201/0108 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , Y10S438/926
Abstract: 一种具备多个立体结构体的立体结构元件，提供可以不产生立体结构体的形状的不均匀性、均匀形成的结构。具有基板(11)和在基板(11)上的预定的有效区域(20)配置的立体结构体(1)。该立体结构体(1)，在其与基板(11)之间，具备通过去除牺牲层形成的空间部。在基板(11)上设置虚设区域(21)以包围有效区域(20)，在虚设区域(21)配置虚设结构体(33)。虚设结构体(33)，在它与基板(11)之间，具有通过去除牺牲层形成的空间部。由于是这样的结构，所以在进行去除牺牲层的灰化工序时，虚设区域(21)的温度只上升到与有效区域(20)相同的程度，防止在有效区域(20)发生温度分布。
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公开(公告)号：CN1392951A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN01802962.0
申请日：2001-09-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01J1/02 , G01J5/40 , H01L27/148
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0278 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , G01J5/40 , H01L27/14812 , H01L27/14818 , H01L27/14875
Abstract: 一种热位移元件包括一基片，和一个被支撑在基片上的被支撑的部件。被支撑部件包括第一和第二位移部分，表现出高热阻的热分离部分，以及接收辐射并将其转换为热的辐射吸收部分。第一和第二位移部分的每一个至少具有不同膨胀系数的不同材料并彼此叠置的两层。第一位移部分不通过热分离部分而与基片机械上连续。辐射吸收部分和第二位移部分通过热分离部分和第一位移部分机械上与基片连续。第二位移部分与辐射吸收部分热连接。一种辐射检测装置包括一个热位移元件以及位移读部件，它固定在热位移元件的第二位移部分并用来获得对应于第二位移部分中位移的预定变化。
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