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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104221137A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201080049093.7
申请日：2010-10-28
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67721 , B65G49/061 , H01L21/67736 , H01L21/68764 , H01L21/68785
Abstract: 一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。
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公开(公告)号：CN104221137B
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201080049093.7
申请日：2010-10-28
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67721 , B65G49/061 , H01L21/67736 , H01L21/68764 , H01L21/68785
Abstract: 种基板搬送装置(7),是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件起搬送,其特征在于具备:使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V);保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。
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公开(公告)号：CN109003917A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810725930.1
申请日：2010-10-28
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67721 , B65G49/061 , H01L21/67736 , H01L21/68764 , H01L21/68785
Abstract: 提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。
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公开(公告)号：CN102648518B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201080046237.3
申请日：2010-10-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/673 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , G03F7/7075 , H01L21/67748 , H01L21/6875
Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。
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公开(公告)号：CN102648518A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201080046237.3
申请日：2010-10-20
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/673 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , G03F7/7075 , H01L21/67748 , H01L21/6875
Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。
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