公开(公告)号：CN1282232C

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN01143297.7

申请日：2001-12-26

Applicant: 株式会社半导体能源研究所 ,  石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 田中幸一郎 ,  中节男 ,  八木武人 ,  石井干人 ,  西田健一郎 ,  河口纪仁 ,  正木美由纪 ,  芳之内淳

IPC: H01L21/324 ,  G02F1/00 ,  H01S3/00

CPC classification number: G02B27/108 ,  G02B27/145

Abstract: 一种运行成本比传统装置低的激光辐照装置，以及使用该装置的激光辐照方法。其形成的晶粒大小与传统的同数量级或更大。半导体薄膜冷却速度更低，而且可以形成与用输出时间长的激光辐照半导体薄膜时所形成的颗粒大小同数量级或更大颗粒的晶粒。通过在用短输出时间的固态激光器作光源时，相对于另一个激光延迟一个激光，组合这些激光，并将其辐照在半导体薄膜上，可以实现这个效果。

公开(公告)号：CN1362729A

公开(公告)日：2002-08-07

申请号：CN01143297.7

申请日：2001-12-26

Applicant: 株式会社半导体能源研究所 ,  石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 田中幸一郎 ,  中嶋节男 ,  八木武人 ,  石井干人 ,  西田健一郎 ,  河口纪仁 ,  正木美由纪 ,  芳之内淳

IPC: H01L21/324 ,  G02F1/00 ,  H01S3/00

CPC classification number: G02B27/108 ,  G02B27/145

Abstract: 一种运行成本比传统装置低的激光辐照装置,以及使用该装置的激光辐照方法。其形成的晶粒大小与传统的同数量级或更大。半导体薄膜冷却速度更低,而且可以形成与用输出时间长的激光辐照半导体薄膜时所形成的颗粒大小同数量级或更大颗粒的晶粒。通过在用短输出时间的固态激光器作光源时,相对于另一个激光延迟一个激光,组合这些激光,并将其辐照在半导体薄膜上,可以实现这个效果。

公开(公告)号：CN101022915A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200580031294.3

申请日：2005-07-21

Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 八木武人 ,  岛辉行

IPC: B23K31/00 ,  B23K9/095

CPC classification number: B23K31/02 ,  B23K11/02

Abstract: 本发明提供了一种用于对一对在它们之间具有台阶的待焊接的焊接构件的对接焊接部分进行观察的方法和装置，其中不会由于台阶而受到遮蔽区的中断。该装置包括用于对焊接部分12进行摄影的CCD摄像机13，其设置在直接位于凹槽部分11之上的垂直平面内，在凹槽部分11之上，厚度不同的焊接构件10a和10b以相对于法线14成预定的倾斜角度地对接设置，闪光灯15设于直接位于凹槽部分11上面的垂直平面内，在角度设置上，相对于以法线14作为对称轴线的CCD摄像机的对称角度设置而偏离±10°至20°，照射光从直接设置在凹槽部分11上面的闪光灯15中照射出来，从而消除了在待焊接的构件10a与配对构件10b的对接焊接部分12产生遮蔽区的可能性，因而防止了由闪光灯15照射焊接部分12的高亮度照射光的规则反射分量集中地入射到CCD摄像机13中，从而获得焊接部分12的具有适合于图像处理的亮度的图像。

公开(公告)号：CN100416411C

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN02108096.8

申请日：2002-02-22

Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 杉山喜和 ,  正木深雪 ,  八木武人

IPC: G03F7/20 ,  B23K26/06 ,  H01L21/268

CPC classification number: G02B1/12

Abstract: 具有优良的成像性能、照度均匀性良好、可照射细的线宽和大的宽高比的线状束的照明光学系统包括：扩大来自激光器光源(1)的照射束的直径的未聚焦的束扩展系统(2)、至少在大致与第一方向x正交的第二方向y上具有折射力并将来自束扩展系统(2)的照射束成像为在上述第一方向x上具有长边方向的线状束的线状束形成透镜系统(3)、具有沿着上述第一方向x排列的多个要素透镜(EL11)等的透镜阵列部(4)、将上述线状束的上述各要素透镜(EL11)等每一个的像重合照射在被处理面(12)上的会聚光学系统(5)。

公开(公告)号：CN100581710C

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200580031294.3

申请日：2005-07-21

Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 八木武人 ,  岛辉行

IPC: B23K31/00 ,  B23K9/095

CPC classification number: B23K31/02 ,  B23K11/02

Abstract: 本发明提供了一种用于对一对在它们之间具有台阶的待焊接的焊接构件的对接焊接部分进行观察的方法和装置，其中不会由于台阶而受到遮蔽区的中断。该装置包括用于对焊接部分12进行摄影的CCD摄像机13，其设置在直接位于凹槽部分11之上的垂直平面内，在凹槽部分11之上，厚度不同的焊接构件10a和10b以相对于法线14成预定的倾斜角度地对接设置，闪光灯15设于直接位于凹槽部分11上面的垂直平面内，在角度设置上，相对于以法线14作为对称轴线的CCD摄像机的对称角度设置而偏离±10°至20°，照射光从直接设置在凹槽部分11上面的闪光灯15中照射出来，从而消除了在待焊接的构件10a与配对构件10b的对接焊接部分12产生遮蔽区的可能性，因而防止了由闪光灯15照射焊接部分12的高亮度照射光的规则反射分量集中地入射到CCD摄像机13中，从而获得焊接部分12的具有适合于图像处理的亮度的图像。

公开(公告)号：CN1374562A

公开(公告)日：2002-10-16

申请号：CN02108096.8

申请日：2002-02-22

Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 杉山喜和 ,  正木深雪 ,  八木武人

IPC: G03F7/20 ,  B23K26/06 ,  H01L21/268

CPC classification number: G02B1/12

Abstract: 具有优良的成像性能、照度均匀性良好、可照射细的线宽和大的宽高比的线状束的照明光学系统包括:扩大来自激光器光源1的照射束的直径的未聚焦的束扩展系统2、至少在大致与第一方向x正交的第二方向y上具有折射力并将来自束扩展系统2的照射束成像为在上述第一方向x上具有长边方向的线状束的线状束形成透镜系统3、具有沿着上述第一方向x排列的多个要素透镜EL11等的透镜阵列部4、将上述线状束的上述各要素透镜EL11等每一个的像重合照射在被处理面12上的会聚光学系统5。