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公开(公告)号：CN1230869C
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN02107835.1
申请日：2002-03-22
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/00
CPC classification number: F04B51/00 , F04B49/065 , F04D19/04 , F04D27/001 , G01M13/00
Abstract: 一种用于预测旋转机器的使用寿命预期值的装置包括：负载方案输入模块，其用于获得旋转机器的负载条件；特征输入模块，其用于获得所述旋转机器的特征数据；以及使用寿命预期值预测模块，其根据所述负载条件和所述特征数据计算所述旋转机器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN1416076A
公开(公告)日：2003-05-07
申请号：CN02154759.9
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B23/024 , Y02P90/86
Abstract: 生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统，可在制造多品种工业制品的情况下自动应对进行故障诊断。包括：被诊断生产装置5；测定被诊断生产装置5的特征量的特征量传感器32～37；驱动控制被诊断生产装置5的实时控制控制器531；根据特征量传感器32～37的输出进行故障实时判定的模块533；将参照生产装置的特征量的数据作为装置信息数据库记录的装置信息存储装置103；包含驱动控制被诊断生产装置5的制造过程序列的方法和负荷试验序列的方法的过程管理信息数据库并向实时控制控制器531输出方法的过程管理信息存储装置102。
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公开(公告)号：CN1404103A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02147030.8
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/205 , H01L21/365 , F04C25/02 , C23C16/52
CPC classification number: G05B23/0283
Abstract: 提供一种不受半导钵制造中涉及的处理条件的变动和电源变动以及机械误差影响的半导体制造装置的寿命诊断方法。该方法包括：(1)测定半导体制造装置没有恶化时的特征量的基准时间系列数据(步骤S11)；(2)从基准时间系列数据求出基准自共分数函数(步骤S12)；(3)从该基准自共分数函数提取处理条件的变动和电源引起的基准变动，求出该基准变动的周期(步骤S13)；(4)在成为半导体制造装置的评价对象的序列中，测定特征量的诊断用时间系列数据(步骤S14)；(5)从该诊断用时间系列数据求出诊断用自共分数函数(步骤S15)；(6)使用比基准变动周期短的周期成分从该诊断用自共分散函数决定半导体制造装置的寿命(步骤S16)。
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公开(公告)号：CN1377056A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN02107835.1
申请日：2002-03-22
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/00
CPC classification number: F04B51/00 , F04B49/065 , F04D19/04 , F04D27/001 , G01M13/00
Abstract: 一种用于预测旋转机器的使用寿命预期值的装置包括:负载方案输入模块,其用于获得旋转机器的负载条件;特征输入模块,其用于获得所述旋转机器的特征数据;以及使用寿命预期值预测模块,其根据所述负载条件和所述特征数据计算所述旋转机器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN100476663C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN02154759.9
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G05B23/00 , G05B19/418 , H01L21/00 , G06F17/00
CPC classification number: G05B23/024 , Y02P90/86
Abstract: 生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统，可在制造多品种工业制品的情况下自动应对进行故障诊断。包括：被诊断生产装置5；测定被诊断生产装置5的特征量的特征量传感器32～37；驱动控制被诊断生产装置5的实时控制控制器531；根据特征量传感器32～37的输出进行故障实时判定的模块533；将参照生产装置的特征量的数据作为装置信息数据库记录的装置信息存储装置103；包含驱动控制被诊断生产装置5的制造过程序列的方法和负荷试验序列的方法的过程管理信息数据库并向实时控制控制器531输出方法的过程管理信息存储装置102。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1240108C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN02160293.X
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B19/4065 , G05B2219/37252 , Y02P90/86
Abstract: 提供一种高灵敏度且稳定的半导体制造装置用旋转机的寿命预测方法。方案是测定旋转机(干式泵)的加速度，获得时间系列数据(步骤S101)；将时间系列数据进行频率分析，得到频率频谱(步骤S102)；决定分析对象频率(步骤S103)；将对应于分析对象频率的加速度峰值的基准用时间系列数据和加速度峰值的评价用时间系列数据进行抽样测定(步骤S104)；使用基准用时间系列数据和评价用时间系列数据作成旋转机的寿命评价用数据，在所含步骤(步骤S105)进行旋转机的寿命确定。
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公开(公告)号：CN1378260A
公开(公告)日：2002-11-06
申请号：CN02108327.4
申请日：2002-03-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: C23C16/52
Abstract: 从某一侧面看到的本发明的膜厚监控方法如以下那样构成。当使用具有反应炉的CVD(化学水蒸气沉积)装置在上述反应炉内的基板上形成薄膜时,在上述反应炉的外部测定来自上述反应炉内的辐射光,获得上述辐射光的辐射率的变化与形成于上述基板上的薄膜的膜厚变化的关系。当在获得上述辐射率变化与上述膜厚变化的关系后使用上述CVD装置在基板上形成薄膜时,测定上述辐射光的上述辐射率的变化。根据获得的上述辐射率变化与上述膜厚变化的关系,从所测定出的上述辐射光的上述辐射率的变化,推定形成于上述反应炉内的基板上的上述薄膜的膜厚。
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公开(公告)号：CN1284218C
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200410047644.2
申请日：2002-03-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: C23C16/52
Abstract: 一种基板温度测定方法，包括以下过程：圆柱杆状玻璃纤维具有一方的前端部和另一方的前端部，并且使形成于上述一方前端部的平坦面与垂直于温度测定对象即基板的主表面的侧面对置地配置上述玻璃纤维，上述玻璃纤维在上述一方的前端部具有相对上述玻璃纤维的中心轴平行的上述平坦面和相对上述玻璃纤维的中心轴倾斜地切成的斜面；从上述平坦面将从上述基板的侧面辐射的光取入到玻璃纤维内，在上述一方的前端部的上述斜面使其反射，将其引导至上述另一方的前端部。
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公开(公告)号：CN1281866C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN03134791.6
申请日：2003-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B23/0229 , G01H1/003 , G05B23/0283
Abstract: 本发明的课题在于提供一种以廉价的装置，简单、稳定且高精度地对旋转机的寿命进行预测的寿命预测系统。该系统包括：测定旋转机(3)的振动的时间序列加速度数据的振动仪(7)；用含有以包括旋转机的转子的叶片扇数的公式与旋转机固有的基准振动频率的乘积表示的第1解析频率的频带、对所测定的模拟信号的时间序列加速度数据进行滤波的带通滤波器(8)；以及根据经滤波的上述第1解析频率的时间序列加速度数据的特征量，预测上述旋转机的寿命的数据处理单元(6)。
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公开(公告)号：CN1497180A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03134791.6
申请日：2003-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B23/0229 , G01H1/003 , G05B23/0283
Abstract: 本发明的课题在于提供一种以廉价的装置，简单、稳定且高精度地对旋转机的寿命进行预测的寿命预测系统。该系统包括：测定旋转机(3)的振动的时间序列加速度数据的振动仪(7)；用含有以包括旋转机的转子的叶片扇数的公式与旋转机固有的基准振动频率的乘积表示的第1解析频率的频带、对所测定的模拟信号的时间序列加速度数据进行滤波的带通滤波器(8)；以及根据经滤波的上述第1解析频率的时间序列加速度数据的特征量，预测上述旋转机的寿命的数据处理单元(6)。
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