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公开(公告)号：CN101937836A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010263401.8
申请日：2004-09-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明涉及一种半导体器件的制造系统和方法。通过恰当地管理加工处理装置的维修间隔，缩短半导体器件的制造工序期间。本发明的半导体器件制造系统具有：实行采用半导体基板(17)的加工处理的处理装置(14)；从处理装置(14)接收装置信息进行处理装置(14)自管理的自诊断系统(11a)；检查加工处理结果的检查装置(19)；基于检查结果判定处理装置(14)能否自动修复，并在判定结果为有效判定时维持自诊断系统(11a)的参数，为无效判定时变更这种参数的计算机(11)。
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公开(公告)号：CN100476663C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN02154759.9
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G05B23/00 , G05B19/418 , H01L21/00 , G06F17/00
CPC classification number: G05B23/024 , Y02P90/86
Abstract: 生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统，可在制造多品种工业制品的情况下自动应对进行故障诊断。包括：被诊断生产装置5；测定被诊断生产装置5的特征量的特征量传感器32～37；驱动控制被诊断生产装置5的实时控制控制器531；根据特征量传感器32～37的输出进行故障实时判定的模块533；将参照生产装置的特征量的数据作为装置信息数据库记录的装置信息存储装置103；包含驱动控制被诊断生产装置5的制造过程序列的方法和负荷试验序列的方法的过程管理信息数据库并向实时控制控制器531输出方法的过程管理信息存储装置102。
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公开(公告)号：CN101937836B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010263401.8
申请日：2004-09-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明涉及一种半导体器件的制造系统和方法。通过恰当地管理加工处理装置的维修间隔，缩短半导体器件的制造工序期间。本发明的半导体器件制造系统具有：实行采用半导体基板(17)的加工处理的处理装置(14)；从处理装置(14)接收装置信息进行处理装置(14)自管理的自诊断系统(11a)；检查加工处理结果的检查装置(19)；基于检查结果判定处理装置(14)能否自动修复，并在判定结果为有效判定时维持自诊断系统(11a)的参数，为无效判定时变更这种参数的计算机(11)。
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公开(公告)号：CN1416076A
公开(公告)日：2003-05-07
申请号：CN02154759.9
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B23/024 , Y02P90/86
Abstract: 生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统，可在制造多品种工业制品的情况下自动应对进行故障诊断。包括：被诊断生产装置5；测定被诊断生产装置5的特征量的特征量传感器32～37；驱动控制被诊断生产装置5的实时控制控制器531；根据特征量传感器32～37的输出进行故障实时判定的模块533；将参照生产装置的特征量的数据作为装置信息数据库记录的装置信息存储装置103；包含驱动控制被诊断生产装置5的制造过程序列的方法和负荷试验序列的方法的过程管理信息数据库并向实时控制控制器531输出方法的过程管理信息存储装置102。
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公开(公告)号：CN1404103A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02147030.8
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/205 , H01L21/365 , F04C25/02 , C23C16/52
CPC classification number: G05B23/0283
Abstract: 提供一种不受半导钵制造中涉及的处理条件的变动和电源变动以及机械误差影响的半导体制造装置的寿命诊断方法。该方法包括：(1)测定半导体制造装置没有恶化时的特征量的基准时间系列数据(步骤S11)；(2)从基准时间系列数据求出基准自共分数函数(步骤S12)；(3)从该基准自共分数函数提取处理条件的变动和电源引起的基准变动，求出该基准变动的周期(步骤S13)；(4)在成为半导体制造装置的评价对象的序列中，测定特征量的诊断用时间系列数据(步骤S14)；(5)从该诊断用时间系列数据求出诊断用自共分数函数(步骤S15)；(6)使用比基准变动周期短的周期成分从该诊断用自共分散函数决定半导体制造装置的寿命(步骤S16)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100424599C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200610066598.X
申请日：2006-04-03
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G05B19/04 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/32097 , G05B2219/32194 , G05B2219/45031 , H01L21/67253 , Y02P90/20 , Y02P90/22
Abstract: 一种质量管理系统，具备：存储过去批次的QC实测值的QC值存储部；获取对象批次的处理装置的装置内部信息的数据获取装置；存储装置内部信息的装置内部信息存储部；存储根据晶片内的取样密度分布分类的多个处方的处方存储部；QC值预测单元，根据装置内部信息和过去批次的QC实测值，预测对象批次的QC预测值；晶片确定单元，根据QC预测值确定构成对象批次的多个晶片中成为测定对象的样品晶片；处方选择单元，根据QC预测值，从多个处方中选择适用于样品晶片的适用处方；以及测定装置，使用适用处方对样品晶片进行QC测定，把测定结果存储在QC值存储部中。
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公开(公告)号：CN100380103C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN03160083.2
申请日：2003-09-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G01M15/12 , G05B23/0221 , G05B23/0283
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有能够进行高灵敏度且稳定的高精度的寿命预测的旋转机的制造装置。在旋转机(3)中，在旋转机的振动的变动不同的位置配置有测定时间序列振动数据的加速度计(36a、36b)。借助频率解析装置(37)，对由加速度计(36a、36b)所测定的时间序列振动数据进行频率解析。在时间序列数据记录部(5)中，根据经频率解析的时间序列振动数据，将与解析对象频率对应的特征量的变动制作成评价用诊断数据，并记录评价用诊断数据。用寿命判定单元(6)，利用评价用诊断数据预测旋转机(3)的寿命。
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公开(公告)号：CN1419045A
公开(公告)日：2003-05-21
申请号：CN02160295.6
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B9/02 , G05B23/024 , G05B23/0291
Abstract: 提供进行正确故障时间的预测，可进行安全低成本的维护的异常停止避免系统。包含：反应室(521)；将反应室(521)置于减压状态的真空泵(18，19)；向反应室(521)导入气体的气体供给控制系统(51)；测定真空泵(18，19)的特征量的时间系列数据的特征量传感器(31～37)；实时控制反应室(521)、真空泵(18，19)和气体供给控制系统(51)的实时控制器(531)；通过对时间系列数据的第一实时解析取得第一故障诊断数据，通过对第一故障诊断数据的第二实时解析取得第二故障诊断数据，由此预测故障的故障实时判定模块(533)。判断为异常停止的情况下，由气体供给控制系统(51)向反应室(521)导入清洁(purge)用气体。
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公开(公告)号：CN1281866C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN03134791.6
申请日：2003-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G05B23/0229 , G01H1/003 , G05B23/0283
Abstract: 本发明的课题在于提供一种以廉价的装置，简单、稳定且高精度地对旋转机的寿命进行预测的寿命预测系统。该系统包括：测定旋转机(3)的振动的时间序列加速度数据的振动仪(7)；用含有以包括旋转机的转子的叶片扇数的公式与旋转机固有的基准振动频率的乘积表示的第1解析频率的频带、对所测定的模拟信号的时间序列加速度数据进行滤波的带通滤波器(8)；以及根据经滤波的上述第1解析频率的时间序列加速度数据的特征量，预测上述旋转机的寿命的数据处理单元(6)。
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公开(公告)号：CN1848006A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610066598.X
申请日：2006-04-03
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G05B19/04 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/32097 , G05B2219/32194 , G05B2219/45031 , H01L21/67253 , Y02P90/20 , Y02P90/22
Abstract: 一种质量管理系统，具备：存储过去批次的QC实测值的QC值存储部；获取对象批次的处理装置的装置内部信息的数据获取装置；存储装置内部信息的装置内部信息存储部；存储根据晶片内的取样密度分布分类的多个处方的处方存储部；QC值预测单元，根据装置内部信息和过去批次的QC实测值，预测对象批次的QC预测值；晶片确定单元，根据QC预测值确定构成对象批次的多个晶片中成为测定对象的样品晶片；处方选择单元，根据QC预测值，从多个处方中选择适用于样品晶片的适用处方；以及测定装置，使用适用处方对样品晶片进行QC测定，把测定结果存储在QC值存储部中。
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