公开(公告)号：CN101266484B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200710199792.X

申请日：2007-12-14

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 馆山和树 ,  小川英纪 ,  伊美哲志

IPC: G05B19/418 ,  H05K3/34

CPC classification number: H05K3/3484 ,  H05K1/0269 ,  H05K3/1233 ,  H05K3/341 ,  H05K13/0817 ,  H05K13/083 ,  H05K2203/163 ,  Y10T29/49004

Abstract: 提供一种在基板上钎焊部件而制造电子装置的表面安装生产线的高精度的工序管理方法、使用该工序管理方法的数据登记程序以及使用该工序管理方法的电子装置的制造方法。焊料印刷检查装置(12)、安装检查装置(14)、钎焊检查装置(16)分别将“印刷完成状况数据”、“安装完成状况数据”、“钎焊良否数据”存储在主存储装置(21)中。数据登记工具(22)从主存储装置(21)读入数据，根据“印刷完成状况数据”对每个部件(103)算出“代表数据”，并将其与其他数据一起对每个部件(103)存储在辅助存储装置(23)中。SPC工具(24)基于辅助存储装置(23)中存储的良品数据，判定焊料印刷装置(11)和安装装置(13)是否需要调整。

公开(公告)号：CN101266484A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200710199792.X

申请日：2007-12-14

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 馆山和树 ,  小川英纪 ,  伊美哲志

IPC: G05B19/418 ,  H05K3/34

CPC classification number: H05K3/3484 ,  H05K1/0269 ,  H05K3/1233 ,  H05K3/341 ,  H05K13/0817 ,  H05K13/083 ,  H05K2203/163 ,  Y10T29/49004

Abstract: 提供一种在基板上钎焊部件而制造电子装置的表面安装生产线的高精度的工序管理方法、使用该工序管理方法的数据登记程序以及使用该工序管理方法的电子装置的制造方法。焊料印刷检查装置(12)、安装检查装置(14)、钎焊检查装置(16)分别将“印刷完成状况数据”、“安装完成状况数据”、“钎焊良否数据”存储在主存储装置(21)中。数据登记工具(22)从主存储装置(21)读入数据，根据“印刷完成状况数据”对每个部件(103)算出“代表数据”，并将其与其他数据一起对每个部件(103)存储在辅助存储装置(23)中。SPC工具(24)基于辅助存储装置(23)中存储的良品数据，判定焊料印刷装置(11)和安装装置(13)是否需要调整。

公开(公告)号：CN1331206C

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200410083963.9

申请日：2004-10-14

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 伊美哲志

IPC: H01L21/66 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明的目的在于提供一种缺陷检查方法，其可相应于图案的密度自动地设定具有相应于缺陷部分的尺寸的缺陷检测灵敏度的尺寸判定区域，进行缺陷检查。该缺陷检查方法包含：其基于参照图像数据，于复数个方向计测图案的宽度，并将上述参照图像数据变换为相应于上述图案于上述各方向的宽度的亮度，制作对应于上述各方向的复数个扫描图像数据；其比较上述复数个扫描图像数据，并自该等扫描图像数据选出最小的亮度的最小亮度，制作宽度图像数据；其基于被检查图像数据与上述参照图像数据抽出缺陷部分，并将于上述图案的宽度成为最小亮度的方向测定的尺寸变换为亮度，制作缺陷尺寸图像数据；以及，其基于上述缺陷尺寸图像数据与上述宽度图像数据，进行对于上述缺陷部分的缺陷判定。

公开(公告)号：CN1619790A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410083963.9

申请日：2004-10-14

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 伊美哲志

IPC: H01L21/66 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明的目的在于提供一种缺陷检查方法，其可相应于图案的密度自动地设定具有相应于缺陷部分的尺寸的缺陷检测灵敏度的尺寸判定区域，进行缺陷检查。该缺陷检查方法包含：其基于参照图像数据，于复数个方向计测图案的宽度，并将上述参照图像数据变换为相应于上述图案于上述各方向的宽度的亮度，制作对应于上述各方向的复数个扫描图像数据；其比较上述复数个扫描图像数据，并自该等扫描图像数据选出最小的亮度的最小亮度，制作宽度图像数据；其基于被检查图像数据与上述参照图像数据抽出缺陷部分，并将于上述图案的宽度成为最小亮度的方向测定的尺寸变换为亮度，制作缺陷尺寸图像数据；以及，其基于上述缺陷尺寸图像数据与上述宽度图像数据，进行对于上述缺陷部分的缺陷判定。